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14ページ目: コントローラ
・リニアモータを使い、搬送・押当て測長システムを小型化
・厚さ:9mm、質量:130g(ストローク10mm時)
・繰返し位置決め精度:±5μm
・押当て測長精度:±10μm
・リニアモータを使い、搬送・押当て測長システムを小型化
・厚さ:9mm、質量:130g(ストローク10mm時)
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