フジキンのグローブバルブ

・ボディは堅牢な鍛造仕上げ。・ボンネットレス形でコンパクト。・流量調整が可能。・パネルマウント可能。

ベローズ構造により高気密性、高耐久性、コンパクト

メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー

・グランド部外ネジ構造。・流体を閉止しやすいソフトシールタイプ。・ボンネットレス形でコンパクト。・パネルマウント可能。

メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー

・ボディは堅牢な鍛造仕上げ。・ボンネットレス形でコンパクト。・流量調整が可能。・パネルマウント可能。

ボンネットレス形でコンパクトです。流量調整が可能です。

・ボディは堅牢な鍛造仕上げ。・ボンネットレス形でコンパクト。・流体を閉止しやすいソフトシールタイプ。・パネルマウント可能。

空気圧シリンダー式ベローズバルブ・空気圧シリンダー式ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界実績No.1のベローズバルブです。ステンレス鋼製・1MPaノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別出来ます。アクチュエータは独自の回転機構となっておりN.O.、N.C.とも任意の位置より作動圧を供給できます。洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・HT・PI・PAもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。

空気圧シリンダー式ベローズバルブ・空気圧シリンダー式ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界実績No.1のベローズバルブです。ステンレス鋼製・1MPaノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別出来ます。アクチュエータは独自の回転機構となっておりN.O.、N.C.とも任意の位置より作動圧を供給できます。洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・HT・PI・PAもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。

可変式2段切換バルブ・可変式2段切換バルブは、最先端の半導体プロセスチャンバー内等への、急激な流体によるパーティクルの舞い上がりを防ぐことを目的として開発しました。・小流量と大流量を切換えることにより、チャンバー内圧力の上昇をスムーズにすることが可能です。・従来の2段切換バルブでは困難であった実使用ラインでの調整対応が可能です。小流量の開度調整ができるようになりました。小流量設定可能Cv値範囲・呼び径 6.35：0～MAX. Cv値・呼び径 9.52：0～0.25コンパクト 高耐久(高寿命)小流量固定ナット・ロック機構により小流量が任意値に設定可能。小流量調整ねじ・特殊機構の採用により微小コントロールを可能にします。アクチュエータ・ピストン構造により正確な流量切換えが可能。バルブ構造・ダイレクトダイヤフラム構造を採用。

NEW MEGA-ONE LA・新タイプ・低圧エアオペレーションバルブ・NEW MEGA-ONE LA は、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-ONE LAの性能はそのままに、コンパクト化をはかりました。アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。優れた耐久性400万回以上(Φ6.35)ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようキャップ上部で、簡単に識別できます。良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 1.48 cc)高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラムシート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

MEGA-ONE LA NHD・低圧タイプ 高耐久エアオペレーションバルブ・MEGA-ONE LA NHD は、各種半導体製造装置・設備などの超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・長年の経験によって蓄積された技術を使い、より高耐久性、高応答性を図りました。高耐久バルブ・高耐久性能を実現。・長年の経験によって蓄積された技術を駆使し、製品の高寿命化を実現しました。・3000万回以上。高Cv値・構造の見直しにより、従来と同サイズで高Cv値化を実現。安定した品質・バルブ全数につき、リフト調整及びCv値測定検査を実施。MEGA-ONE・NEW MEGA-ONEと面間を統一(Φ6.35はUJR継手のみ)・既存ラインのグレードアップが可能。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。シート材質は、標準でPCTFEを採用しています・PA(PFA材)・PI(ポリイミド材)もオプション設定しています。高温(使用流体温度)にも対応・シート材質をPA・PIにする事で200℃に対応。

NEW MEGA-MINI LA・新タイプ・低圧コンパクトエアオペレーションバルブ・NEW MEGA-MINI LAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-MINI LAの性能はそのままに、コンパクト化を図りました。アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。・Φ35の小型アクチュエータの採用によりコンパクトです。優れた耐久性400万回以上ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようアクチュエータキャップ上部で、簡単に識別できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 0.84 cc)シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

NEW MEGA-ONE LA・新タイプ・低圧エアオペレーションバルブ・NEW MEGA-ONE LA は、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-ONE LAの性能はそのままに、コンパクト化をはかりました。アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。優れた耐久性400万回以上(Φ6.35)ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようキャップ上部で、簡単に識別できます。良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 1.48 cc)高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラムシート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

MEGA-M LA・オールメタル エアオペレーションバルブ高温バルブ・MEGA-M LA は、高温下300℃(条件によります)まで対応可能なオールメタルバルブです。・専用のヒーターと組み合わせる事で、高温プロセスや排気系での堆積物付着防止に大きく貢献致します。標準接続は1/8" ファインロック300℃対応可能・アクチュエータはオールメタルであり環境温度300℃で使用可能。300℃時で耐久性20万回以上・オプションで耐久性100万回も対応可能(Cv値0.1)良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.38cc)メタルシートの採用により接ガス部はすべてメタルとなりました。接ガス部は全て標準でUP処理されています。

NEW MEGA-MINI HA・新タイプ・高圧コンパクトエアオペレーションバルブ・NEW MEGA-MINI HAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-MINI HAの性能はそのままに、コンパクト化をはかりました。アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。・特殊構造のアクチュエータにより、高圧タイプのエアオペレーションバルブとして、大変コンパクトです。優れた耐久性40万回以上高圧ガス大臣認定品の対応が可能です。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 0.92 cc)シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でUP処理を行っています。

NEW MEGA-MINI LA・新タイプ・低圧コンパクトエアオペレーションバルブ・NEW MEGA-MINI LAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-MINI LAの性能はそのままに、コンパクト化を図りました。アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。・Φ35の小型アクチュエータの採用によりコンパクトです。優れた耐久性400万回以上ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようアクチュエータキャップ上部で、簡単に識別できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 0.84 cc)シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。

MEGA-ONE LA・MEGA-ONE LAは、各種半導体装置・設備などの超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別できます。アクチュエータは独自の回転機構となっておりN.O.、N.C.とも任意の位置より作動圧を供給できます。高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.48cc)シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定されています。接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。

マイクロメーター式ハンドル付微量流量調整用バルブ最高使用圧力：4.82MPa微量流量調節型ディスク。マイクロメーター式ハンドルにより、繰り返し正確な微量流量設定が可能。精密な成形メタルベローズによるシール構造で外部シール性能が高い。6回転のハンドル操作でバルブが全開。スロット付ハンドルトップにより、マイナスドライバーによる調節可能。ボディとベローズの間をステンレス鋼製ガスケットによりシール。パネル取り付けまたはボディ底部取付けが可能。接続形式：V-Lokタイプ。外部リーク・加圧試験に加えて、ヘリウムリーク試験を実施。・漏洩量が4.0×10 ┣sup┫-10┣/sup┫・3┣sup┫3┣/sup┫/sec以下(真空法)であることを確認しています。(検査時)全閉時流量・全閉時、0.068MPaの窒素ガスで10～15m┣sup┫3┣/sup┫/min(normal)が流れるように設定をしています。(出荷時)

精密な成形メタルベローズによるシール構造で外部シール性能が高い。ボディとベローズの間をステンレス鋼製ガスケットによりシール。無回転のディスク構造で繰り返し確実な締め切りが可能。メタルシールタイプ、ソフトシールタイプの2種類を用意。パネル取り付けまたはボディ底部取付けが可能。接続形式：V-Lokタイプ。 外部リーク、弁座リーク・加圧試験に加えて、ヘリウムリーク試験を実施。・漏洩量が4.0×10 -10・33/sec以下(真空法)であることを確認しています。(検査時)

ベローズバルブ (丸ハンドル)・ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界No.1のベローズバルブです。ステンレス鋼製・1MPa洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。

ベローズ構造により高気密性、高耐久性、コンパクト

メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー

メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー