フジキンの各種用途バルブ

ベローズ構造により高気密性、高耐久性、コンパクト

ベローズ構造により高気密性、高耐久性、コンパクト

ベローズ構造により高気密性、高耐久性、コンパクト

空気圧シリンダー式高圧ベローズバルブ・空気圧シリンダー式高圧ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成し、また高圧ガス大臣認定品としても対応が可能です。ステンレス鋼製・16.2MPaノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別出来ます。アクチュエータは独自の回転機構となっておりN.O、N.C.とも任意の位置より作動圧を供給できます。洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。

空気圧シリンダー式ベローズバルブ・空気圧シリンダー式ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界実績No.1のベローズバルブです。ステンレス鋼製・1MPaノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別出来ます。アクチュエータは独自の回転機構となっておりN.O.、N.C.とも任意の位置より作動圧を供給できます。洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・HT・PI・PAもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。

空気圧シリンダー式ベローズバルブ・空気圧シリンダー式ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界実績No.1のベローズバルブです。ステンレス鋼製・1MPaノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別出来ます。アクチュエータは独自の回転機構となっておりN.O.、N.C.とも任意の位置より作動圧を供給できます。洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・HT・PI・PAもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。

マイクロメーター式ハンドル付微量流量調整用バルブ最高使用圧力：4.82MPa微量流量調節型ディスク。マイクロメーター式ハンドルにより、繰り返し正確な微量流量設定が可能。精密な成形メタルベローズによるシール構造で外部シール性能が高い。6回転のハンドル操作でバルブが全開。スロット付ハンドルトップにより、マイナスドライバーによる調節可能。ボディとベローズの間をステンレス鋼製ガスケットによりシール。パネル取り付けまたはボディ底部取付けが可能。接続形式：V-Lokタイプ。外部リーク・加圧試験に加えて、ヘリウムリーク試験を実施。・漏洩量が4.0×10 ┣sup┫-10┣/sup┫・3┣sup┫3┣/sup┫/sec以下(真空法)であることを確認しています。(検査時)全閉時流量・全閉時、0.068MPaの窒素ガスで10～15m┣sup┫3┣/sup┫/min(normal)が流れるように設定をしています。(出荷時)

精密な成形メタルベローズによるシール構造で外部シール性能が高い。ボディとベローズの間をステンレス鋼製ガスケットによりシール。無回転のディスク構造で繰り返し確実な締め切りが可能。メタルシールタイプ、ソフトシールタイプの2種類を用意。パネル取り付けまたはボディ底部取付けが可能。接続形式：V-Lokタイプ。 外部リーク、弁座リーク・加圧試験に加えて、ヘリウムリーク試験を実施。・漏洩量が4.0×10 -10・33/sec以下(真空法)であることを確認しています。(検査時)

ベローズバルブ (丸ハンドル)・ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界No.1のベローズバルブです。ステンレス鋼製・1MPa洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。

ニードルベローズバルブ・ニードルベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの流量調整用バルブです。・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界No.1のベローズバルブです。ステンレス鋼製・0.98MPa

スイッチベローズ (90度開閉スイッチ式)・スイッチベロウズバルブ(90度開閉スイッチ式)は、各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界No.1のベローズバルブです。ステンレス鋼製・1MPa開閉状態が一目で確認出来ます。90度回転のワンタッチ操作で全開・全閉が出来ます。スプリングにより閉止トルクが一定しているため、完全なシールとシート寿命が向上します。洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。接続タイプが豊富に揃っています。ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。・HT・PI・PAもオプション設定しています。オプションでUP処理も可能です。

ベローズ構造により高気密性、高耐久性、コンパクト