商品豆知識
「測定流体」から絞り込む
質量流量計ですので、温度・圧力の影響を受けません。
アナログ出力機能をはじめ幅広いアプリケーションに対応します。
ACアダプター変換ハーネスとACアダプターを併用すれば、ACコンセントからの電源供給が可能です。
ホース継手により、Rc1/4ネジをΦ10.5mmのホース接続に変換できます。
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能、プリセット機能等の機能があります。0.5sec以内の高速制御が可能です。流量制御値及び積算機能を搭載しています。消費ガスやパージガスの流量制御に適しています。※小型マスフローコントローラーには専用ケーブルまたは専用アダプタが必要です。
適合流体N2/Air
材質(ボディ)樹脂(禁油なし)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。
DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。
ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。
センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。
別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
タイプマスフローコントローラ(MC)
バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%FS
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
制御電源が一体型でコンパクトです。
流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。
入出力アナログ信号(0～5VDC)
質量(kg)1.45
電圧(V)【流量設定】DC0.25～5、【流量出力】DC0～5
フルスケール流量100SLM
電源(V)AC100
付属品ACコード(2m)
寸法(mm)127×90×150
接続1/4in.SWL相当(4-5430-01・01のみ3/8in.SWL相当)
仕様流量設定/出力表示：スケーリング表示設定/出力表示切替：トグルスイッチ背面端子：AC100Vおよび0～5VDC入出力電圧モニター
エコ商品
・「設定自動検出」機能搭載で、設定に不可欠な配管の外径・肉厚・材質情報をワンクリックで自動設定することができます。・特殊なガスケットパッドを使用しているため、センサー用ゲルを塗布する必要がなく、検査時間の大幅削減につながります。・LCD および LEDディスプレイで、3色のインジケータライトの色の変化により通常/エラー等、機器の状態が確認することが可能です。
用途表示部とバックルを止めるネジ以外は全てPEEKなどの樹脂で構成され、金属部品が少ないため、錆に強く高い耐食性があります。そのため、薬品などの化学物質を使用する現場での使用も可能です。
付属品電源ケーブル 2m
材質配管：金属配管、樹脂配管 (UPVC / PPH / PVDF / PFA / PTFE)
使用温度(℃)0～85
測定精度±3.0%RD(F.Sの10%以上)/±0.3%F.S.(F.S.の10%未満) ※測定流体が水、温度25℃の時
電源電圧(V)12～36 DC(消費電流：200mA @12V)
保護等級IP66
出力信号4-20mA / Modbus RTU RS485
適合流体不純物や気泡のない液体
RoHS指令(10物質対応)対応
溶接トーチから吐出されるシールドガスを測定する携帯型の流量計です。溶接トーチ先端からのシールドガス流量管理を行うことができますので、様々な仕様のトーチ、溶接設備に関わらず、溶接品質を均一に保つ手助けとなります。
付属品計測チューブ/取扱説明書/ストラップ/充電ケーブル
電源(V)DC9(006P)×2
温度範囲(℃)0～50
使用圧力(MPa)-0.09～0.75
耐圧(MPa)1
精度(%)±3(2次側大気解放)
保存温度(℃)-10～60
連続運転時間(h)約12
使用周囲温度(℃)0～50
使用周囲湿度(%RH)90以下
応答時間(ms)50
制御電源が一体型でコンパクトです。流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。
仕様設定/出力表示切替：トグルスイッチ 背面端子：AC100Vおよび0～5VDC入出力電圧モニター 流量出力電圧：0～5VDC 流量設定/出力表示：スケーリング表示 流量設定電圧：0.25～5VDC
質量(kg)1.45
フルスケール流量30SLM
接続1/4in.SWL相当
電源AC100V
入出力アナログ信号(0～5VDC)
付属品ACコード(2m)
サイズ127×90×150mm
窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体窒素ガス(N2)
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5～45
最大圧力(kPa)入口：500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
水素ガス(H2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体水素ガス(H2)
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5～45
最大圧力(kPa)入口：500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
酸素ガス(O2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体酸素ガス(O2)
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5～45
最大圧力(kPa)入口：500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
炭酸ガス(CO2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体炭酸ガス(CO2)
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5～45
最大圧力(kPa)入口：500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
質量(g)約1200
種類コントローラ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
通信方式RS485
表示器一体型：4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)
許容周囲温度(℃)5～45
関連資料カタログ(0.77MB)
動作差圧(kPa)50～300
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口：500
継手RC1/4
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
フルスケール流量500SCCM
流量制御範囲2～100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローメータ、ACアダプタ
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、FKM
質量(g)約1200
種類メータ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
通信方式RS485
表示器一体型：4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)
許容周囲温度(℃)5～45
関連資料カタログ(0.77MB)
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口：500
継手1/4SW
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
流量制御範囲2～100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mA
サイズ127×38×100mm
材質(シール)フッ素ゴム
再現性±0.2%FS
応答時間≦2sec
通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA
耐圧力(MPa)1
流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)
バルブ種類NC(ノーマルクローズ)
フルスケール流量10SCCM
制御電源が一体型でコンパクトです。流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。
仕様設定/出力表示切替：トグルスイッチ 背面端子：AC100Vおよび0～5VDC入出力電圧モニター 流量出力電圧：0～5VDC 流量設定/出力表示：スケーリング表示 流量設定電圧：0.25～5VDC
付属品ACコード(2m)
質量(kg)1.45
サイズ127×90×150mm
電源AC100V
接続1/4in.SWL相当
入出力アナログ信号(0～5VDC)
フルスケール流量50SLM
制御電源が一体型でコンパクトです。流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。
仕様設定/出力表示切替：トグルスイッチ 背面端子：AC100Vおよび0～5VDC入出力電圧モニター 流量出力電圧：0～5VDC 流量設定/出力表示：スケーリング表示 流量設定電圧：0.25～5VDC
付属品ACコード(2m)
質量(kg)1.45
サイズ127×90×150mm
電源AC100V
接続1/4in.SWL相当
入出力アナログ信号(0～5VDC)
フルスケール流量20SLM
サーマルセンサーを搭載しています。
低圧損構造です。
コンパクトサイズで最大200LMに対応します。
材質(シール部)フッ素ゴム、(接ガス部)アルミニウム(A6061)、SUS316、SS(一般構造用圧延鋼材)、フッ素ゴム
寸法(mm)100×25.4×96.4
質量(g)約300
再現性±0.5%FS
通信方式アナログ0～5VDC(D-sub9pinコネクタ)
出力信号(流量)アナログ0～5VDC
耐圧力(MPa)1(g)
流量精度±2%FS(25℃、20～100%時)、±3%FS(25℃、0～19%時)
応答性10sec以下
アルゴンガス(AR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体アルゴンガス(AR)
ヘリウムガス(HE)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体ヘリウムガス(HE)
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
質量(g)約1200
種類コントローラ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
通信方式RS485
表示器一体型：4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)
許容周囲温度(℃)5～45
関連資料カタログ(0.77MB)
応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口：500
継手1/4SW
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
流量制御範囲2～100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示設定器の一体型により本体のみで設定制御が可能です。駆動電源は24VDC単電源(ACアダプタ利用可能)です。デジタル通信：RS485通信機能を搭載しています。積算および流量異常上下限アラーム機能を搭載しています。
仕様外部リーク：1×10^-7Pa・m3/secHe 供給電源電圧/消費電流：24VDC/500mA以上 使用保証温度：5～50℃ 制御流量範囲：2～100%FS 接ガス部：SUS316、PTFE、フッ素ゴム 標準接続継手：1/4inSWL(相当品) 流量出力信号：本体表示機7セグメントLED デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA 流量設定：本体表示設定器・イベント出力切替、デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4.3～20mA
サイズ127×38×100mm
フルスケール流量200SCCM
再現性±0.2%FS
通信方式デジタル/RS485、アナログ/0～5VDC/4～20mA
流量精度±1%FS(精度保証範囲15～35℃)
応答時間≦2sec
バルブ種類NC(ノーマルクローズ)
材質(シール)フッ素ゴム
耐圧力(MPa)1
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