測定原理の異なる2種類のセンサを1つに組み合わせることで、超高真空から大気圧という12桁にわたる広範囲の圧力測定を可能にした圧力計です。クリスタルゲージの採用により大気圧検出、低真空側での抜群の安定性を実現します。コールドカソードゲージの採用によって熱フィラメントの必要がないため、断線などのトラブルを回避できます。またセンサが熱源を持たないため真空計に影響を与えません。センサ、回路部、ディスプレイが一体で、省スペースです。センサのクリーニングや交換をご自身で簡単に行えます。生産復帰までの時間を短縮することができます。別売のACアダプタを用いると、AC100~240Vで使用できます。
仕様セットポイント:3点(1点独立、2点はコモン共通) 接点容量:DC50V 0.12A
測定範囲1.0×10^-7~1.0×10^5Pa
電源電圧DC22~26V Max:8W
温度(℃)ベーキング:MAX 150(回路部を取り外すこと)
表示方式7セグメントLED
アナログ出力10V F.S. log出力または複合出力から選択 RS485デジタル通信
センサークリスタルゲージ/コールドカソードゲージ
インターフェースRS-485
使用周囲温度(℃)0~50
RoHS指令(10物質対応)対応
ガス分析装置用標準ガス・高純度ガス用及び、その他特殊ガス用に開発された特別クリーン洗浄・組立仕様の精密圧力調整器です。 二段式タイプなので、入口圧力が減少しても安定した調整圧力を得ることができます。 ステンレスSUS316製は錆や腐食に強く、耐圧性にも優れています。 パージバルブ付では、ボンベ接続時に混入した空気を実ガスパージで外部に排除でき、高品質ガスを供給することが出来ます。 流量計付では流量のモニターが可能になり、不必要なガス消費を防ぐ事に役立ちます。
用途ガス分析装置用標準ガス・高純度ガス用及び、その他特殊ガス用
高圧圧力計(MPa)25(入口圧力14.8MPa以下)
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