プロセス制御の最先端ニーズに応える、小型の薬液用電磁弁です。弁の開閉時の容積変化量は0.01μL以下です。
使用流体空気、水、脱イオン水(純水)、希釈液、洗浄液
弁構造ダイヤフラム式直動ポペット(ロッカータイプ)
使用圧力範囲-75kPa～0.3MPa
定格電圧(V)DC24
オリフィス径(Φmm)2
接続口径Rc1/8
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