半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用できるダイヤフラムバルブです。バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、シート(ASSY)部の交換をユーザーサイドで可能としました。定期的なクリーニングを必要とする材料容器の封止バルブに対し、メンテナンス性能の向上とランニングコストダウンに有効です。シート(ASSY)部交換治具はWD4手動弁シリーズと共通です。アクチュエーター径Φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに対応可能です。
1台で手動による流量の調整とエアーアクチュエーターによる全開/全閉の2段階のコントロールを可能とした画期的な複合バルブです。ニードルではなくダイヤフラムで流体を制御するため、パーティクルフリーとスピーディーなガス供給を実現しています。従来システムのバイパス配管や制御機器が不要になり、大幅なコストダウンと省スペース化が可能です。使用目的に合わせた最適なCv値が任意で設定できます。
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