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16A(72)
25A(127)
40A(156)
50A(107)
63A(96)
80A(74)
100A(20)
160A(14)
CADデータあり
CADデータあり
CADデータあり
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
CADデータあり
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
CADデータあり
CADデータあり
エコ商品
仕様【取出し方法】リード線：M形プラグコネクタタイプ(リード線長さ0.3m)、【手動操作】ノンロックプッシュ式、【真空切換弁・破壊弁の組合わせ】供給弁：電磁弁(N.C.)/破壊弁：電磁弁(N.C.)
ブラケット同梱
単位SI単位固定
ランプ・サージ電圧保護回路ランプ・サージ電圧保護回路付
出力仕様NPNオープンコレクタ2出力+コピー機能
リード線コネクタ付リード線付(5芯リード線、長さ2m)
RoHS指令(10物質対応)対応
電磁弁定格電圧(V)DC24
スイッチ/フィルタ組合わせ真空用デジタル圧力スイッチ(ZSE20A)+フィルタ
1個
￥49,980
税込￥54,978
24日以内出荷
エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応
モジュール設計による必要機能・組合せが可能
ダブルソレノイドによる自己保持機能
マニホールド化可能
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シール材質:(R1) Chemraz SS592、シ-ル材質変更箇所とリーク量:(A) 内部 1.3 x 10^-8，外部 1.3 x 10^-9
フランジタイプKF(NW)
1個
￥169,800
税込￥186,780
91日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
めねじタイプ(Rc、NPT)追加[New]
最低使用圧力：1×10-6Pa(abs)
リーク量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
2種の継手を用意
消費電力：最大25%削減
質量：最大18%削減0.5kg→0.41kg
めねじタイプ(Rc、NPT)追加[New]
最低使用圧力：1×10-6Pa(abs)
リーク量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s
2種の継手を用意
消費電力：最大25%削減
質量：最大18%削減0.5kg→0.41kg
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
仕様制御電源の有無:(-) 制御電源なし、起動電圧:(5) DC24V、リード線取出し:(T) ターミナル、CE対応:(Q) CE対応
CE-対応品CE対応品
バルブサイズKF16
起動電圧DC24V
1個
￥39,980
税込￥43,978
91日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
フランジタイプKF(NW)
オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉
表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
フランジタイプKF(NW)
表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
フランジタイプKF(NW)
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
フランジタイプKF(NW)
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
長寿命：300万回(常温時)
発塵量：1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用
適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応
開口窓寸法(mm)50X336
軸数とシール形式1軸ベローズ
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
仕様【使用圧力】1×10-6～大気圧Pa(abs)、【コンダクタンス】200L/s、【リーク量】内部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く/外部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く
材質本体：アルミ合金、ベローズ：SUS316L、要部：ステンレス、FKM(標準シール材)
接続口径【パイロットポート】Rc1/8
質量(kg)5.1
フランジ80
フランジタイプKF(NW)
表面処理外部：硬質アルマイト、内部：素地
使用流体不活性ガス系の真空
弁形式常時閉(加圧開・スプリングシール)
オートスイッチ個数1ケ付
インジケータなし
パイロット圧力(MPa[kgf/cm2])0.4～0.7
オートスイッチ種類D-A93L
パイロットポート方向フランジ側
表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
温度仕様/ヒータの有無5～60℃、ヒータなし
1個
￥169,800
税込￥186,780
91日以内出荷
CADデータあり
CADデータあり
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
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