仕様【使用圧力】1×10^-6～大気圧Pa(abs)、【コンダクタンス】200L/s、【リーク量】内部：標準材質(FKM)の場合1.3×10^-10常温時・ガス透過を除く/外部：標準材質(FKM)の場合1.3×10^-11常温時・ガス透過を除く材質本体：アルミ合金、ベローズ：SUS316L、要部：ステンレス、FKM(標準シール材)接続口径【パイロットポート】Rc1/8質量(kg)5.1フランジ80フランジタイプKF(NW)表面処理外部：硬質アルマイト、内部：素地使用流体不活性ガス系の真空弁形式常時閉(加圧開・スプリングシール)オートスイッチ個数1ケ付インジケータなしパイロット圧力(MPa[kgf/cm²])0.4～0.7オートスイッチ種類D-A93Lパイロットポート方向フランジ側表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側温度仕様/ヒータの有無5～60℃、ヒータなし

真空配管部品クランプ型真空弁 ATシリーズ佐藤真空

￥65,980～税込￥72,578～

1個

5日以内出荷から7日以内出荷

ISO規格の真空フランジを採用したベローズ式真空バルブです。クランプとセンターリングにより脱着は簡単、確実です。また、バルブボディー及び内部部品にはステンレス材を使用し耐食性に優れています。開閉方式として、手動式と、圧縮空気による自動式の2機種を用意しています。用途に合わせて選択してください。

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高真空アングルバルブ(シリンダ駆動)入江工研

￥79,980税込￥87,978

1個

48日以内出荷

ICFフランジ接続のシリンダー駆動の真空バルブです。

用途排気系の開閉に使用する高真空のバルブです。SUSボディ、SUSベローズにてシール。耐食性にも優れています。材質(シリンダ)アルミニウム寿命10万回材質(ボディ)SUS304駆動方式単動シリンダ N/C材質(ベローズ)SUS316LシリンダポートRC1/8

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常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ XSA3SMC

￥23,980～税込￥26,378～

1個

13日以内出荷

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常時閉型高真空電磁弁 XSAシリーズ XSA1SMC

￥21,980～税込￥24,178～

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3日以内出荷から90日以内出荷

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYHSMC

￥55,980～税込￥61,578～

1個

3日以内出荷から90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

フランジタイプKF(NW)

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYDSMC

￥81,980～税込￥90,178～

1個

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ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYCSMC

￥57,980～税込￥63,778～

1個

翌々日出荷から90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-80JSMC

￥199,800税込￥219,780

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面右

ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-80H0SMC

￥199,800税込￥219,780

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-80DASMC

￥199,800税込￥219,780

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプK(DN)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面裏

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-80SMC

￥199,800～税込￥219,780～

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63JH0SMC

￥149,800税込￥164,780

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63JSMC

￥149,800税込￥164,780

1個

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ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉オートスイッチ種類有接点オートスイッチ，グロメット，ランプ付，2線式，横取出，リード線3m，適用電圧：DC24V，AC100Vインジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面右

ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63H0SMC

￥149,800～税込￥164,780～

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63FH0SMC

￥149,800～税込￥164,780～

1個

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ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面左

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63FSMC

￥149,800税込￥164,780

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63DKH0SMC

￥149,800税込￥164,780

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプK(DN)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面左

ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63DH0SMC

￥149,800税込￥164,780

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63DFH0SMC

￥149,800～税込￥164,780～

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

フランジタイプK(DN)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面左

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63DFSMC

￥189,800税込￥208,780

1個

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ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:バルブシール(保守部品)、外部シール(保守部品)；リーク量:内部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-9Pa・m3/s以下フランジタイプK(DN)オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉オートスイッチ種類無接点オートスイッチ，グロメット，ランプ付，3線式(PNP)，横取出，リード線0.5m，適用電圧：DC5V，12V，24V(DC4.5～28V)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面左

ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63DASMC

￥149,800～税込￥164,780～

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

フランジタイプK(DN)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面裏

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63DSMC

￥139,800～税込￥153,780～

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

フランジタイプK(DN)インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63AH0SMC

￥149,800～税込￥164,780～

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面裏

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63ASMC

￥149,800～税込￥164,780～

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

フランジタイプKF(NW)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面裏

バリエーション一覧へ(6)

ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63SMC

￥139,800～税込￥153,780～

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

フランジタイプKF(NW)インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-50MSMC

￥98,980～税込￥108,878～

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面右

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-50KSMC

￥109,800税込￥120,780

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面左

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-50H0SMC

￥98,980～税込￥108,878～

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません

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ステンレス製高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-50FH0SMC

￥99,980税込￥109,978

1個

90日以内出荷

ガス溜まりのない精密鋳造一体構造アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません