絞り込み
フランジサイズ
材質(シール)
エコロジープロダクト
「フランジサイズ」から絞り込む
XLG-2M9_J - アルミニウム製高真空L型バルブ/単動(常時閉)/ベローズシールSMC￥73,980～税込￥81,378～
1個
90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
XLG-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/複動/OリングシールSMC￥37,980～税込￥41,778～
1個
3日以内出荷から90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
XLFV-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/電磁弁付/単動(常時閉)/OリングシールSMC￥42,980～税込￥47,278～
1個
90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
XLF-2M9_J - アルミニウム製 高真空L型バルブ/耐熱オートスイッチ付SMC￥62,980～税込￥69,278～
1個
90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
フランジタイプKF(NW)表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
XLF-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/単動(常時閉)/OリングシールSMC￥36,980～税込￥40,678～
1個
90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
XLF - アルミニウム製高真空L型バルブ/常時閉/OリングシールSMC￥249,800～税込￥274,780～
1個
90日以内出荷
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
オーダーメイド仕様標準
XLDV - アルミニウム製 高真空L型バルブ/電磁弁付/二段制御・単動/ベローズシール・OリングシールSMC￥84,980～税込￥93,478～
1個
90日以内出荷
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
XLD - アルミニウム製 高真空L型バルブ/二段制御，単動/ベローズシール・OリングシールSMC￥74,980～税込￥82,478～
1個
90日以内出荷
フッ素に強い
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
XLC-2M9_J - アルミニウム製 高真空L型バルブ/耐熱オートスイッチ付SMC￥55,980～税込￥61,578～
1個
90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
フランジタイプKF(NW)
XLC-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/複動/ベローズシールSMC￥39,980～税込￥43,978～
1個
90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
XLAV-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/電磁弁付/単動(常時閉)/ベローズシールSMC￥43,980～税込￥48,378～
1個
11日以内出荷から90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
XLA-2M9_J - アルミニウム製 高真空L型バルブ/耐熱オートスイッチ付SMC￥63,980～税込￥70,378～
1個
90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
フランジタイプKF(NW)
XLA-2 - アルミニウム製高真空L型バルブ/単動(常時閉)/ベローズシールSMC￥36,980～税込￥40,678～
1個
3日以内出荷から90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブSMC￥539,800～税込￥593,780～
1個
11日以内出荷から90日以内出荷
長寿命：300万回(常温時)
発塵量：1/5以下に低減(従来品比)
メンテナンス性向上
容易なベローズ交換
トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド)
安全対策
メカ式エンドロック機構採用
適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応開口窓寸法(mm)50X336軸数とシール形式1軸ベローズ
アルミニウム製 高真空L型バルブ XLAシリーズ XLA-80SMC￥169,800税込￥186,780
1個
90日以内出荷
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
仕様【使用圧力】1×10-6～大気圧Pa(abs)、【コンダクタンス】200L/s、【リーク量】内部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く/外部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く材質本体：アルミ合金、ベローズ：SUS316L、要部：ステンレス、FKM(標準シール材)接続口径【パイロットポート】Rc1/8質量(kg)5.1フランジ80フランジタイプKF(NW)表面処理外部：硬質アルマイト、内部：素地使用流体不活性ガス系の真空弁形式常時閉(加圧開・スプリングシール)オートスイッチ個数1ケ付インジケータなしパイロット圧力(MPa[kgf/cm2])0.4～0.7オートスイッチ種類D-A93Lパイロットポート方向フランジ側表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側温度仕様/ヒータの有無5～60℃、ヒータなし
真空配管部品 クランプ型真空弁 ATシリーズ佐藤真空￥65,980～税込￥72,578～
1個
7日以内出荷
ISO規格の真空フランジを採用したベローズ式真空バルブです。クランプとセンターリングにより脱着は簡単、確実です。また、バルブボディー及び内部部品にはステンレス材を使用し耐食性に優れています。開閉方式として、手動式と、圧縮空気による自動式の2機種を用意しています。用途に合わせて選択してください。
高真空アングルバルブ(シリンダ駆動)入江工研￥79,980税込￥87,978
1個
48日以内出荷
ICFフランジ接続のシリンダー駆動の真空バルブです。
用途排気系の開閉に使用する高真空のバルブです。SUSボディ、SUSベローズにてシール。耐食性にも優れています。材質(シリンダ)アルミニウム寿命10万回材質(ボディ)SUS304駆動方式単動シリンダ N/C材質(ベローズ)SUS316LシリンダポートRC1/8
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYHSMC￥55,980～税込￥61,578～
1個
3日以内出荷から90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYDSMC￥81,980～税込￥90,178～
1個
3日以内出荷から90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYCSMC￥57,980～税込￥63,778～
1個
翌々日出荷から90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-80JSMC￥199,800税込￥219,780
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面右
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-80H0SMC￥199,800税込￥219,780
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-80DASMC￥199,800税込￥219,780
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプK(DN)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面裏
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-80SMC￥199,800～税込￥219,780～
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63JH0SMC￥149,800税込￥164,780
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面右
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63JSMC￥149,800税込￥164,780
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉オートスイッチ種類有接点オートスイッチ，グロメット，ランプ付，2線式，横取出，リード線3m，適用電圧：DC24V，AC100Vインジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面右
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63H0SMC￥149,800～税込￥164,780～
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63FH0SMC￥149,800～税込￥164,780～
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面左
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63FSMC￥149,800税込￥164,780
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面左
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63DKH0SMC￥149,800税込￥164,780
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプK(DN)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面左
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63DH0SMC￥149,800税込￥164,780
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下フランジタイプK(DN)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63DFH0SMC￥149,800～税込￥164,780～
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプK(DN)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面左
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63DFSMC￥189,800税込￥208,780
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:バルブシール(保守部品)、外部シール(保守部品)；リーク量:内部:1.3x10^-8Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-9Pa・m3/s以下フランジタイプK(DN)オートスイッチ個数数量:2ケ付；検出位置:弁開閉オートスイッチ種類無接点オートスイッチ，グロメット，ランプ付，3線式(PNP)，横取出，リード線0.5m，適用電圧：DC5V，12V，24V(DC4.5～28V)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面左
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63DASMC￥149,800～税込￥164,780～
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプK(DN)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面裏
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63DSMC￥139,800～税込￥153,780～
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプK(DN)インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63AH0SMC￥149,800～税込￥164,780～
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)オートスイッチ個数数量:オートスイッチなし；検出位置:-オートスイッチ種類オートスイッチなし(内蔵磁石なし)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面裏
ステンレス製 高真空ストレート型バルブ XYシリーズ XYA-63ASMC￥149,800～税込￥164,780～
1個
90日以内出荷
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)インジケータおよび操作ポート方向インジケータ付、フランジ面裏
