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NWフランジ接続の手動真空バルブです。
用途排気系の開閉に使用する高真空のバルブです。SUSボディ、SUSベローズにてシール。耐食性にも優れています。
材質(シリンダ)アルミニウム
寿命10万回
材質(ボディ)SUS304
駆動方式手動(回転ハンドル)
材質(ベローズ)SUS316L
CADデータあり
エコ商品
圧縮空気により、手軽に真空が得られるマイクロエジェクタ、吸着搬送に欠かせないパッド。真空ラインを制御する真空弁が揃っています。真空ポンプによる吸着搬送システムの真空制御に最適。電子式真空スイッチは見やすいLED表示付。真空ラインのON/OFFを確実に制御。
形式MV180真空供給側有効断面積4.0mm2(V→VS)
真空スイッチ真空スイッチなし
圧縮空気により、手軽に真空が得られるマイクロエジェクタ、吸着搬送に欠かせないパッド。真空ラインを制御する真空弁が揃っています。真空ポンプによる吸着搬送システムの真空制御に最適。電子式真空スイッチは見やすいLED表示付。真空ラインのON/OFFを確実に制御。
形式MV030真空供給側有効断面積0.55mm2(V→VS)
真空スイッチ真空スイッチなし
圧縮空気により、手軽に真空が得られるマイクロエジェクタ、吸着搬送に欠かせないパッド。真空ラインを制御する真空弁が揃っています。真空ポンプによる吸着搬送システムの真空制御に最適。電子式真空スイッチは見やすいLED表示付。真空ラインのON/OFFを確実に制御。
形式MV090真空供給側有効断面積2.0mm2(V→VS)
真空スイッチ真空スイッチなし
圧縮空気により、手軽に真空が得られるマイクロエジェクタ、吸着搬送に欠かせないパッド。真空ラインを制御する真空弁が揃っています。真空ポンプによる吸着搬送システムの真空制御に最適。電子式真空スイッチは見やすいLED表示付。真空ラインのON/OFFを確実に制御。
用途負圧用方向制御弁、電磁弁式・エアオペレイト式・手動機械式
形式AMV180真空供給側有効断面積4.0mm2(V→VS)
バルブ構造真空供給制御弁2方弁常時閉(NC)、真空破壊エア制御弁2方弁常時閉(NC)
電磁弁オプション常時閉(NC)タイプ取付用
マニホールド取付方法A形マニホールド
圧縮空気により、手軽に真空が得られるマイクロエジェクタ、吸着搬送に欠かせないパッド。真空ラインを制御する真空弁が揃っています。真空ポンプによる吸着搬送システムの真空制御に最適。電子式真空スイッチは見やすいLED表示付。真空ラインのON/OFFを確実に制御。
用途負圧用方向制御弁、電磁弁式・エアオペレイト式・手動機械式
形式AMV180真空供給側有効断面積4.0mm2(V→VS)
バルブ構造真空供給制御弁3方弁常時閉(NC)、真空破壊エア制御弁2方弁常時閉(NC)
フィルターフィルタ付
電磁弁オプション常時閉(NC)タイプ取付用
マニホールド取付方法A形マニホールド
CADデータあり
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
ICFフランジ接続のシリンダー駆動の真空バルブです。
用途排気系の開閉に使用する高真空のバルブです。SUSボディ、SUSベローズにてシール。耐食性にも優れています。
材質(シリンダ)アルミニウム
寿命10万回
材質(ボディ)SUS304
駆動方式単動シリンダ N/C
材質(ベローズ)SUS316L
シリンダポートRC1/8
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
仕様シ-ル材質変更箇所とリーク量：変更箇所:なし；リーク量:内部:1.3x10^-10(FKM)Pa・m3/s以下、外部:1.3x10^-11(FKM)Pa・m3/s以下
フランジタイプKF(NW)
操作ポート方向フランジ側
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
CADデータあり
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
CADデータあり
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
操作ポート方向フランジ側
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
操作ポート方向フランジ側
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
操作ポート方向フランジ側
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
操作ポート方向フランジ側
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
インジケータなし
操作ポート方向フランジ側
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
CADデータあり
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
フランジタイプKF(NW)
パイロットポート方向フランジ側
表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
温度仕様/ヒータの有無5～60℃、ヒータなし
CADデータあり
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
CADデータあり
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
CADデータあり
CADデータあり
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
フランジタイプKF(NW)
パイロットポート方向フランジ側
表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
温度仕様/ヒータの有無5～60℃、ヒータなし
CADデータあり
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
CADデータあり
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
CADデータあり
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
電磁弁付追加[New]
高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New]
アルミボディ採用
均一なベーキング温度
軽量・コンパクト
アウトガスが少ない
重金属汚染が少ない
ベローズ交換が可能
仕様【使用圧力】1×10-6～大気圧Pa(abs)、【コンダクタンス】200L/s、【リーク量】内部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-10常温時・ガス透過を除く/外部：標準材質(FKM)の場合1.3×10-11常温時・ガス透過を除く
材質本体：アルミ合金、ベローズ：SUS316L、要部：ステンレス、FKM(標準シール材)
接続口径【パイロットポート】Rc1/8
質量(kg)5.1
フランジ80
フランジタイプKF(NW)
表面処理外部：硬質アルマイト、内部：素地
使用流体不活性ガス系の真空
弁形式常時閉(加圧開・スプリングシール)
オートスイッチ個数1ケ付
インジケータなし
パイロット圧力(MPa[kgf/cm2])0.4～0.7
オートスイッチ種類D-A93L
パイロットポート方向フランジ側
表面処理(ボディ)外部:硬質アルマイト、内部:素地
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ側
温度仕様/ヒータの有無5～60℃、ヒータなし
1個
￥169,800
税込￥186,780
91日以内出荷
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏
CADデータあり
ガス溜まりのない精密鋳造一体構造
アルミ製高真空L型バルブXLシリーズと互換性のある取付(XMシリーズ)注)ストレート型にサイズ16はありません
フランジタイプKF(NW)
インジケータおよび操作ポート方向インジケータなし、フランジ面裏
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