非回転構造ニードルバルブを採用により超精密な流体制御が可能です。
用途環境計測機器に。
一般分析機器に。
測定流体空気
全長(mm)150
接続部のサイズRc1/4
質量(g)398
目盛10:1(有効目盛)
精度±2%F.S(計測ポイント)
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)(最大流量5L/min以下)0.7、(最大流量10L/min以上)、0.5
液体の流量測定・監視に最適な小型カルマン渦流量計です。接液部オールテフロンです。
用途接液部オールテフロン、オーリングレスで、半導体プロセスの液体流量監視に最適です。
適合流体超純水・薬液等液体
規格IP64(JIS C0920、防まつ構造)
電源2～24VDC
精度±3%F.S.(25℃)
使用温度(℃)液体：0～90(凍結、沸騰なきこと)
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
周囲湿度(%RH)5～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)0～50
材質(接液部)New PFA、Super PFA
水(H2O)用の小型軽量樹脂製流量計です。
最高使用温度(℃)65
耐圧(MPa)0.7
材質本体/ABS、テーパ管/アクリル、フロート/硬質ガラス、SUS316、継手/SUS304、シール材/フッ素ゴム
接続口径RC1/4
精度FS±6%
適合流体水(H2O)
表示器付マスフローコントローラ、瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応、専用AC電源アダプタPSK-85でAC100Vによる駆動が可能、流体や流量等の諸条件により多数のバリエーションがあるため、かならず型式をご確認のうえ、ご選定お願い致します。画像は代表画像です。
マスフローコントローラとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量制御ユニットです。タッチパネル式でフルスケール設定、流量設定、バルブ開閉など簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローコントローラとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量制御ユニットです。タッチパネル式でフルスケール設定、流量設定、バルブ開閉など簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
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