グリーンシート、ポリイミドフィルム、軽軟材・薄物材などの吸着に便利です。
多孔質セラミックス吸着テーブルです。
気孔径が平均55μmと機械加工による穴径に比べ小さく、被吸着物の変形量が少なくなります。
セラミックス内部から粉塵の心配がありません。
セラミックスとSUS材から出来ており高防錆です。
材質(上面)アルミナ系セラミックス、(ベース)SUS303
RoHS指令(10物質対応)対応
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