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高真空度が必要とされる場合に採用される真空ポンプで、10-5Paが安価に得られます。熱せられた拡散オイルがノズルから噴射されることにより発生する超音速のジェット噴流によって、高真空域まで排気します。単独運転はできず、油回転真空ポンプをバックポンプとして、組合せて使用します。なお、組合せて排気セットとした製品は真空装置内の高真空排気装置をご覧ください。

クリーンS処理。このベルト駆動型油回転真空ポンプは、メーカー創業時から製造しているタイプであり、使いやすさ等お客様の立場に立った改良を加えながら、現在もメーカー主力ポンプの一翼を担っている信頼性の高いポンプです。異径プーリーによりポンプ回転数は600min^-1としており、油量も直結型に比べ多く設定しているため、丈夫で長持ちとの定評を得ております。さらに、排気速度は20～1500L/minまでの9アイテム、圧縮方式はシングル/ダブルの2タイプ、スタイルはU/T/B/Pの4タイプと、バラエティーに富んだ機種を擁し、様々な用途、環境に対応可能なシリーズとなっております。

真空排気ラインで発生するポンプからの油の逆拡散を防止し、超高真空ラインにおいては、水分等の吸着により到達圧力の向上に効果を発揮します。油拡散ポンプ排気装置、真空蒸着装置などに数多く採用されています。