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真空システムのハイサイクル化が要求される分野に最適な真空用フィルターです。容積が小さく、真空システムのハイサイクル化が要求される分野に最適な真空用フィルターです。ちりの量やエレメントの交換時期などによって、エレメントサイズを2種類から選択可能です。

ダイアフラム型ドライ真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです 修理時に通常交換するダイアフラム、吸排気弁などの部品セットです

配管途中に簡単に取り付けられる真空用フィルターです。配管抵抗が小さく、安定しています。配管途中に簡単に取付けられる真空用フィルタです。配管抵抗が小さく、安定しています。

小型軽量=持ち運びに便利なコンパクトタイプ。 低音低振動=精密工作仕上げのため極小です。 取扱い簡易=100 V 電源でどこでもすぐに使用可能。 ベルトレス=モータ直結のため装置への組込みが容易。

特に要望の高い300mmウエハーのハンドリングに対し、確実で速い吸着保持力を発揮します。 クリーンな吐き出しで長寿命かつメンテナンスフリーです。

全幅：9.9mm、全長：72.9mm、全高：52.5mm、質量：50g 可動部設置可能 パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上 マニホールド化可能

全幅：9.9mm、全長：72.9mm、全高：52.5mm、質量：50g 可動部設置可能 パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上 マニホールド化可能

真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです 修理時に通常交換するカップパッキン、ガスケット、排気弁などの部品セットです

容積が最小、真空システムのハイサイクル化が要求される分野で非常に有効な真空用フィルタ。 より狭い場所への設置可能に。 エレメントサイズ(濾過面積)を2種類用意。 塵の量やエレメントの交換時期などによって、2種類から選択可能に。 IN側、OUT側の接続形状は、ワンタッチ継手とメネジタイプから選定可能。 様々な商品と組合せが可能で、特に省スペース化を図ることができるミニマル継手との組合せも可能に。 銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」向けの分野に対応するVFU1， 2， 3タイプ。 金属部材質は銅系金属不使用、シールゴム材質にはHNBRを採用。

油回転真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです

各種真空装置に用いられる油回転し空ポンプ専用のオイルフィルトレーション装置です。 使用しているエレメントは、水分・Ⅲ・粒子の除去機能を併せ持つ特殊なエレメントで、積層吸着により高精度で大量に処理できます。 真空ポンプとポンプ油を長期にわたって清浄に保ち、真空ポンプの故障、オイル交換の低減をはかることが可能になります。

全幅：9.9mm、全長：72.9mm、全高：52.5mm、質量：50g 可動部設置可能 パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上 マニホールド化可能

独自の脈動吸収機構を内蔵した低振動のDC液体ダイアフラムポンプにブラシレスモータを採用して長寿命化を図り、耐用時間はメーカー従来製品の約10倍に向上しました。 小型でありながら広い使用圧力範囲を実現しており、また吐出流量をコントロールできるよう制御機能を装備しています。 気体ポンプ、真空ポンプとしても使用できます。

安心設計・環境対応!CEマーキング対応! 静音化設計により2～5dBの低減(メーカー従来比)。 新材質ブレードの採用により20%アップ(メーカー従来比)。

全幅：9.9mm、全長：72.9mm、全高：52.5mm、質量：50g 可動部設置可能 パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上 マニホールド化可能

容積が最小、真空システムのハイサイクル化が要求される分野で非常に有効な真空用フィルタ。 より狭い場所への設置可能に。 エレメントサイズ(濾過面積)を2種類用意。 塵の量やエレメントの交換時期などによって、2種類から選択可能に。 IN側、OUT側の接続形状は、ワンタッチ継手とメネジタイプから選定可能。 様々な商品と組合せが可能で、特に省スペース化を図ることができるミニマル継手との組合せも可能に。 銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」向けの分野に対応するVFU1， 2， 3タイプ。 金属部材質は銅系金属不使用、シールゴム材質にはHNBRを採用。

真空ポンプのメンテナンスに必要な消耗品を揃えたセットです 修理時に通常交換するベーン、フィルターハウジングガスケット、フィルターなどの部品セットです

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 高速応答：弁応答5ms、真空応答時間28ms 省エネ：空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上 小型・軽量：46g 真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 高速応答：弁応答5ms、真空応答時間28ms 省エネ：空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上 小型・軽量：46g 真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能

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全幅：9.9mm、全長：72.9mm、全高：52.5mm、質量：50g 可動部設置可能 パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上 マニホールド化可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 高速応答：弁応答5ms、真空応答時間28ms 省エネ：空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上 小型・軽量：46g 真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 高速応答：弁応答5ms、真空応答時間28ms 省エネ：空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上 小型・軽量：46g 真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 高速応答：弁応答5ms、真空応答時間28ms 省エネ：空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上 小型・軽量：46g 真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 高速応答：弁応答5ms、真空応答時間28ms 省エネ：空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上 小型・軽量：46g 真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能

全幅：9.9mm、全長：72.9mm、全高：52.5mm、質量：50g 可動部設置可能 パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上 マニホールド化可能