圧力計・流量計には、さまざまな計器が含まれます。力量計・トルク計は、ねじ締付けの大きさやエンジン等の回転力を計測。圧力計は気体や液体の圧力を測定します。 マノメーター、ブルドン管圧力計、ダイヤフラムの変形による方式、電気・物理的変化によるものなどがあります。流量計は管路などを流れる流体の体積や質量を測定し、液面計・レベル計は流動性の物体相互の境界面を測定。引張力や圧縮力を電気信号に変換するロードセルという用品もあります。
複合真空計 タフゲージミラプロ63日以内出荷
複合真空計タフゲージは、BA電離真空計とピラニ真空計を組み合わせた複合型の真空計です。
これ1本で大気から超高真空までの広範囲を自動的に切り替えながら計測します。
ピラニ真空計は温度計を内蔵して温度補正を行い、温度変化による誤差を低減します。
またピラニ真空計には耐腐食性の材料を使用、高真空ではBA電離真空計がグリッド及びコレクタを加熱しながらタフモードで動作しますので、汚染環境でも感度低下が起きにくく、長期間、精度よく測定することができます。
用途真空蒸着装置、エッチング装置、スパッタ装置、電子顕微鏡、イオン注入装置、LPCVD装置、質量分析装置、加速器、有機EL材料精製材質ピラニ:Ni、ピラニ温度計:Pt100、BA フィラメント:Y-lr、グリッド:Pt-Mo、コレクタ:Pt-MoインターフェースRS232C・表示器(TGD100)、PC に接続可入力信号測定開始/停止、デガス、タフモードON/OFF出力信号セットポイント接点×2ch、アラーム接点入力電源(V)DC24、0.8A測定範囲1×10-8Pa~1.2×105PaRoHS指令(10物質対応)対応仕様●圧力単位:Pa/Torr/mbar●タフモード:測定時グリッド及びコレクタ電極を通電加熱・OFF/約300℃/約500℃/約700℃に設定可●デガス:グリッド及びコレクタを約900℃にフラッシュ加熱●圧力信号出力:0~10V×1chタイプトランスミッタタイプ(LED 表示付)
微圧計第一計器税込¥6,488~¥5,898~
ガス流量モニタazbil(旧:山武)税込¥131,780~¥119,800~