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ULVAC(アルバック)水晶板 UCRシリーズ
熱による影響は小さく、周波数安定性は高い。 成膜中の温度特性に優れる レート安定性が良いので、より長い時間使用可能 シャッタ開閉時のふらつきや変化(熱衝撃の変化)が小さい 水晶板の入替作業時間を大幅に短縮 CRTMシリーズでの基本性能は確認済み
仕様●発振周波数:6MHz●電極材質:Au(金)●電極表面:標準仕上げ●外径寸法:Φ14●対応成膜コントローラ:CRTMシリーズ全般●用途:メタル膜、光学膜●塔載可能センサ:CRTSシリーズ(シングルセンサ、マルチセンサ)全て●入数:12枚1組 アズワン品番67-6870-71
1組(12枚)
19,980 税込21,978
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