EDWARDSの真空機器

ロータリーポンプのオイル逆拡散を捕捉します。

スクロールポンプnXDSシリーズ共通の交換用チップシールキットです。

ロータリー真空ポンプRVシリーズ共通のオイルボックスガスケットです。

アクティブインバーテッドマグネトロンゲージAIMの交換用ボディーチューブアッセンブリです。 AIMボディチューブサービスキットに含まれるパーツを組み込んだ、アッセンブリーパーツです。

シリコンおよびハロゲンを含まず、一般に選択されることが多い極低温真空グリースとして広く認識されています。極低温グリースは低温でもひび割れのない性能特性を示し、-273℃の極低温から+30℃までの頻繁な循環に耐えるように特別に配合されています。隣接する表面の微細孔を満たす能力があるため、熱接触を改善します。クリープやキャリーオーバーなど、シリコンベースのグリースに関わる汚染の問題に悩まされることはありません。20℃で6x10-10Torrの蒸気圧を示します。強力な「ゲッタリング」作用により、金属およびガラス表面の潜在的に有害なグリースおよび化学不純物を吸収します。炭化水素溶媒に可溶なので、容易に洗浄および除去が可能です。用途：真空システム内のガラス製または金属製プラグの潤滑、真空システム内のポリマジョイント部の密封、漏れ検出、真空カプセル化されたリレー内の金属接点の保護、研磨されたガラス/金属面の密封、真空システムおよびレーザーシステムの光学面(曇りが発生しない)。

ロータリー真空ポンプE2M0.7/1.5/18/28/RVシリーズ共通のオイルドレインプラグです。

ロータリー真空ポンプE2M0.7/1.5/18/28/RVシリーズ共通のオイルフィラープラグです。

ロータリー真空ポンプのクリーン&オーバーホールキットです。

オイルミストトラップEMF3の交換用オイルエレメント(展開図：(8))です。

オイルの逆流防止機構付です。低振動、低ノイズです。ガスバラスト付です。

シリコンを含まない真空グリースおよび潤滑剤です。焼き付き防止特性があるため、超高真空において効果的な保護剤および潤滑剤となります。PTFEを含むAP100は非常に高いレベルの潤滑性を示します。20℃で7x10-11Torrの非常に低い蒸気圧を示します。周囲温度(通常は10～30℃)での使用が推奨されます。クリープやキャリーオーバーなど、シリコンベースのグリースに関わる汚染の問題に悩まされることはありません。お湯と水性ガラス製品洗剤または炭化水素溶剤を使用して、容易に洗浄および除去が可能です。用途：真空シス

科学的用途と工業的用途の両方で、高温での使用に適したシリコンを含まない高真空グリースです。-10～+240℃の幅広い温度範囲で良好に機能し、+10～+110℃の温度で最適な一貫性を維持します。優れた熱伝達特性を備えています。作動部位から熱を逃がし、加熱の危険と、熱に弱い部品が損傷する危険を減少させます。良好な「静止摩擦力」または付着力を示します。強力な「ゲッタリング」作用により、金属およびガラス表面の潜在的に有害なグリースおよび化学不純物を吸収します。炭化水素溶媒に可溶なので、容易に洗浄および除去が可能です。20℃で1.7x10-9Torrの蒸気圧を示します。用途：真空システム内のガラス製または金属製プラグの潤滑、真空システム内のポリマジョイント部の密封、漏れ検出、真空カプセル化されたリレー内の金属接点の保護、研磨されたガラス/金属面の密封、真空システムおよびレーザーシステムの光学面(曇りが発生しない)。

ロータリーポンプのオイルミストを捕捉します。DOP試験の結果が99.999%という極めて高効率なだけでなく、アジ化物に耐性があります。本体下側は半透明なため、オイルレベルをモニターできます。独自の脱臭エレメントが付属されているため、オイルミストの臭気が中和されます。

オイルミストフィルタMF100AEの交換用ガスケットです。

スクロールポンプXDS35iの交換用チップシールキットです。

ロータリー真空ポンプRVシリーズ共通のモーターダッチングシートです。

ロータリー真空ポンプのブレードキットです。

オイルミストフィルタMF300の交換用エレメントです。 ※4本必要です。

オイルミストフィルタMF100AEの交換用エレメントです。 ※2本必要です。

オイルミストフィルタMF100の交換用エレメントです。 ※2本必要です。

オイルミストトラップの交換用Dシール(展開図：(9))です。

オイルミストトラップEMF3の交換用脱臭エレメント(展開図：(11))です。

加圧給油方式を採用で、大気圧から高真空までの運転がスムーズです。RVシリーズはオイル流量の調節バルブ内蔵。 オイルの逆流防止機構内蔵で、停電などの突然の停止にもオイルの逆流を防止し、システム側を真空状態に保ちます。

クラス最高の真空到達及び排気速度を実現しました。 52dB(A)未満の静音性です。 最長5年の整備間隔により所有コストを低減します。 ユーザーによるチップシールの交換が可能です。

オイルの逆流防止機構付です。 ガスバラスト付です。