・流量UPでバルブのサイズダウン可能。
省エネ、省スペースに貢献します。
・消費電力:0.1w(節電回路付)、0.35w(標準)
・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール)
・プラグインサブプレートに対応。
・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67)
・マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7
・流量UPでバルブのサイズダウン可能。
省エネ、省スペースに貢献します。
・消費電力:0.1w(節電回路付)、0.35w(標準)
・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール)
・プラグインサブプレートに対応。
・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67)
・マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7
ポート数5
・流量UPでバルブのサイズダウン可能。
省エネ、省スペースに貢献します。
・消費電力:0.1w(節電回路付)、0.35w(標準)
・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール)
・プラグインサブプレートに対応。
・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67)
・マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7
・流量UPでバルブのサイズダウン可能。
省エネ、省スペースに貢献します。
・消費電力:0.1w(節電回路付)、0.35w(標準)
・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール)
・プラグインサブプレートに対応。
・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67)
・マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7
ポート数5
使用流体空気
・流量UPでバルブのサイズダウン可能。
省エネ、省スペースに貢献します。
・消費電力:0.1w(節電回路付)、0.35w(標準)
・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール)
・プラグインサブプレートに対応。
・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67)
・マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7
・流量UPでバルブのサイズダウン可能。
省エネ、省スペースに貢献します。
・消費電力:0.1w(節電回路付)、0.35w(標準)
・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール)
・プラグインサブプレートに対応。
・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67)
・マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7
ポート数5
使用流体空気
・流量UPでバルブのサイズダウン可能。
省エネ、省スペースに貢献します。
・消費電力:0.1w(節電回路付)、0.35w(標準)
・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール)
・プラグインサブプレートに対応。
・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67)
・マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7
ポート数5
ポート数5
使用流体空気
ポート数2
口径1/4
オリフィス径(Φmm)4
使用流体中真空
材質(ボディ)(H) SUS
ポート数2
口径1/4
オリフィス径(Φmm)5
使用流体中真空
材質(ボディ)(H) SUS
・流量UPでバルブのサイズダウン可能。
省エネ、省スペースに貢献します。
・消費電力:0.1w(節電回路付)、0.35w(標準)
・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール)
・プラグインサブプレートに対応。
・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67)
・マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7
ポート数5
ポート数2
使用流体中真空
・空気・中真空・水用。
・ボディ材質:Al、樹脂(PPS)、C37、SUS
・ワンタッチ管継手付(樹脂ボディ)を用意。
・IP65
ポート数2
使用流体中真空用
・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ
セス装置に実績多数。
・各種安全規格に対応。
・UL, SEMI規格適合、CEマーキング。
冷却方式水冷冷凍式
ねじの種類Rc
・空気・中真空・水・油・蒸気(温水も可)
・流量20%UP(サイズ1の場合)
・高さ寸法10%Down(サイズ1の場合)
・質量30%Down(サイズ1 Alボディの場合)
・ボディ材質:Al、樹脂、C37、 SUS
・ワンタッチ管継手付(樹脂ボディ)を用意。
・マニホールド型式:パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX21,パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX22,パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX23
ポート数2
使用流体中真空
・流量UPでバルブのサイズダウン可能。
省エネ、省スペースに貢献します。
・消費電力:0.1w(節電回路付)、0.35w(標準)
・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール)
・プラグインサブプレートに対応。
・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67)
・マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7
ポート数5
ポート数2
使用流体中真空
・空気・中真空・水・油・蒸気(温水も可)
・流量20%UP(サイズ1の場合)
・高さ寸法10%Down(サイズ1の場合)
・質量30%Down(サイズ1 Alボディの場合)
・ボディ材質:Al、樹脂、C37、 SUS
・ワンタッチ管継手付(樹脂ボディ)を用意。
・マニホールド型式:パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX21,パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX22,パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX23
ポート数2
使用流体中真空
ポート数2
使用流体中真空
・流量UPでバルブのサイズダウン可能。
省エネ、省スペースに貢献します。
・消費電力:0.1w(節電回路付)、0.35w(標準)
・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール)
・プラグインサブプレートに対応。
・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67)
・マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7
ポート数5
使用流体空気
ポート数2
・流量UPでバルブのサイズダウン可能。
省エネ、省スペースに貢献します。
・消費電力:0.1w(節電回路付)、0.35w(標準)
・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール)
・プラグインサブプレートに対応。
・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67)
・マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7
ポート数5
使用流体空気
ポート数2
使用流体中真空
・流量UPでバルブのサイズダウン可能。
省エネ、省スペースに貢献します。
・消費電力:0.1w(節電回路付)、0.35w(標準)
・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール)
・プラグインサブプレートに対応。
・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67)
・マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7
ポート数5
使用流体空気
・流量UPでバルブのサイズダウン可能。
省エネ、省スペースに貢献します。
・消費電力:0.1w(節電回路付)、0.35w(標準)
・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール)
・プラグインサブプレートに対応。
・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67)
・マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7
ポート数5
使用流体空気
ポート数5
使用流体空気
ポート数5
使用流体空気
・流量UPでバルブのサイズダウン可能。
省エネ、省スペースに貢献します。
・消費電力:0.1w(節電回路付)、0.35w(標準)
・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール)
・プラグインサブプレートに対応。
・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67)
・マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7
ポート数5
使用流体空気
・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。
・消費電力:0.1W(節電回路付)
・マニホールド型式:SS5YJ3,SS5YJ5,SS5YJ7
ポート数5
使用流体空気
定格電圧(V)AC220/230(50/60Hz)
切換方式2位置シングルソレノイド
ポート数5
切換方式2位置シングル
使用流体空気
・流量UPでバルブのサイズダウン可能。
省エネ、省スペースに貢献します。
・消費電力:0.1w(節電回路付)、0.35w(標準)
・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール)
・プラグインサブプレートに対応。
・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67)
・マニホールド型式:SS5Y3,SS5Y5,SS5Y7
ポート数5
使用流体空気
定格電圧(V)(4) AC220/AC230
切換方式(1) 2位置シングル
リード線取出方法(H) グロメット
ポート数5
使用流体空気
リード線(m)0.6
ランプ・サージ電圧保護回路(-) ランプ・サージ電圧保護回路なし
コイル(-) 標準タイプ
マニュアル(-) ノンロックプッシュ式
・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。
・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。
・オートスイッチ付(CDM2シリーズ:CDM2、CDM2W、CDM2K、CDM2KW、
CDM2R、CDM2RK、CDM2Q、CDM2□□P、CDBM2)
チューブ内径(Φmm)40
作動方式複動片ロッド
取付支持形式一山クレビス形
クッションラバークッション
使用ピストン速度(mm/s)15~300
使用圧力範囲(MPa)0.18~1.0
使用流体タービン油
取付金具一山クレビス形
磁石内蔵有無有
ポート数5
使用流体空気・不活性ガス
1個
¥28,980
税込¥31,878
31日以内出荷
チューブ内径(Φmm)40
クッション(-) 両側クッション付
シリーズ(H) ステンレス:14MPa
磁石内蔵有無(D) 内蔵
ロッド径の寸法系列(B) B系列
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2
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