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圧縮空気中に含まれる「水蒸気」を取り除き、乾燥した圧縮空気にする冷凍式エアドライヤです。消費電力を低減したコンパクトな設計です。エアロスの少ないドレン排出器(ドレントラップ)を採用しています。環境に優しい新冷媒R-410Aを採用しており、オゾン層を破壊しません。オイルフリーエアに対応したステンレス製熱交換器を採用し、熱交換器からの発塵を防止しました。熱交換器内部の冷媒配管(銅管)にはニッケルメッキを施し、耐食性を向上させました。通常点検は操作部の冷媒圧力計と運転ランプにより、運転状態が一目で分かります。異常停止の原因が警報ランプの点灯パターンにより判別できるため、異常診断が容易です。高温環境対応能力を向上させ、周囲温度45℃でも運転が可能です。ダストフィルタを標準装備し、コンデンサ清掃の手間を低減します。脱着もきわめて容易です。遠隔操作、運転・警報信号取出しができ、工場の集中管理が可能です。

圧縮空気中に含まれる「水蒸気」を取り除き、乾燥した圧縮空気にする冷凍式エアドライヤです。消費電力を低減したコンパクトな設計です。エアロスの少ないドレン排出器(ドレントラップ)を採用しています。環境に優しい新冷媒R-410Aを採用しており、オゾン層を破壊しません。オイルフリーエアに対応したステンレス製熱交換器を採用し、熱交換器からの発塵を防止しました。熱交換器内部の冷媒配管(銅管)にはニッケルメッキを施し、耐食性を向上させました。通常点検は操作部の冷媒圧力計と運転ランプにより、運転状態が一目で分かります。異常停止の原因が警報ランプの点灯パターンにより判別できるため、異常診断が容易です。高温環境対応能力を向上させ、周囲温度45℃でも運転が可能です。ダストフィルタを標準装備し、コンデンサ清掃の手間を低減します。脱着もきわめて容易です。遠隔操作、運転・警報信号取出しができ、工場の集中管理が可能です。

設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。

圧縮空気中に含まれる「水蒸気」を取り除き、乾燥した圧縮空気にする冷凍式エアドライヤです。消費電力を低減したコンパクトな設計です。エアロスの少ないドレン排出器(ドレントラップ)を採用しています。環境に優しい新冷媒R-410Aを採用しており、オゾン層を破壊しません。オイルフリーエアに対応したステンレス製熱交換器を採用し、熱交換器からの発塵を防止しました。熱交換器内部の冷媒配管(銅管)にはニッケルメッキを施し、耐食性を向上させました。通常点検は操作部の冷媒圧力計と運転ランプにより、運転状態が一目で分かります。高温環境対応能力を向上させ、周囲温度45℃でも運転が可能です。ダストフィルタを標準装備し、コンデンサ清掃の手間を低減します。脱着もきわめて容易です。遠隔操作、運転・警報信号取出しができ、工場の集中管理が可能です。

圧縮空気中に含まれる「水蒸気」を取り除き、乾燥した圧縮空気にする冷凍式エアドライヤです。消費電力を低減したコンパクトな設計です。エアロスの少ないドレン排出器(ドレントラップ)を採用しています。環境に優しい新冷媒R-134aを採用しており、オゾン層を破壊しません。オイルフリーエアに対応したステンレス製熱交換器を採用し、熱交換器からの発塵を防止しました。熱交換器内部の冷媒配管(銅管)にはニッケルメッキを施し、耐食性を向上させました。通常点検は操作部の冷媒圧力計と運転ランプにより、運転状態が一目で分かります。高温環境対応能力を向上させ、周囲温度45℃でも運転が可能です。ダストフィルタを標準装備し、コンデンサ清掃の手間を低減します。脱着もきわめて容易です。遠隔操作、運転・警報信号取出しができ、工場の集中管理が可能です。

圧縮空気中に含まれる「水蒸気」を取り除き、乾燥した圧縮空気にする冷凍式エアドライヤです。消費電力を低減したコンパクトな設計です。エアロスの少ないドレン排出器(ドレントラップ)を採用しています。環境に優しい新冷媒R-134aを採用しており、オゾン層を破壊しません。オイルフリーエアに対応したステンレス製熱交換器を採用し、熱交換器からの発塵を防止しました。熱交換器内部の冷媒配管(銅管)にはニッケルメッキを施し、耐食性を向上させました。通常点検は操作部の冷媒圧力計と運転ランプにより、運転状態が一目で分かります。高温環境対応能力を向上させ、周囲温度45℃でも運転が可能です。ダストフィルタを標準装備し、コンデンサ清掃の手間を低減します。脱着もきわめて容易です。遠隔操作、運転・警報信号取出しができ、工場の集中管理が可能です。

圧縮空気中に含まれる「水蒸気」を取り除き、乾燥した圧縮空気にする冷凍式エアドライヤです。消費電力を低減したコンパクトな設計です。エアロスの少ないドレン排出器(ドレントラップ)を採用しています。環境に優しい新冷媒R-410Aを採用しており、オゾン層を破壊しません。オイルフリーエアに対応したステンレス製熱交換器を採用し、熱交換器からの発塵を防止しました。熱交換器内部の冷媒配管(銅管)にはニッケルメッキを施し、耐食性を向上させました。通常点検は操作部の冷媒圧力計と運転ランプにより、運転状態が一目で分かります。高温環境対応能力を向上させ、周囲温度45℃でも運転が可能です。ダストフィルタを標準装備し、コンデンサ清掃の手間を低減します。脱着もきわめて容易です。遠隔操作、運転・警報信号取出しができ、工場の集中管理が可能です。

設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。

圧縮空気中に含まれる「水蒸気」を取り除き、乾燥した圧縮空気にする冷凍式エアドライヤです。消費電力を低減したコンパクトな設計です。エアロスの少ないドレン排出器(ドレントラップ)を採用しています。環境に優しい新冷媒R-410Aを採用しており、オゾン層を破壊しません。オイルフリーエアに対応したステンレス製熱交換器を採用し、熱交換器からの発塵を防止しました。熱交換器内部の冷媒配管(銅管)にはニッケルメッキを施し、耐食性を向上させました。通常点検は操作部の冷媒圧力計と運転ランプにより、運転状態が一目で分かります。異常停止の原因が警報ランプの点灯パターンにより判別できるため、異常診断が容易です。高温環境対応能力を向上させ、周囲温度48℃でも運転が可能です。ダストフィルタを標準装備し、コンデンサ清掃の手間を低減します。脱着もきわめて容易です。遠隔操作、運転・警報信号取出しを標準装備し、工場の集中管理が可能です。上面排気により、壁ピタ設置が可能です。(ただしドレントラップが外付けのため取付位置にご注意ください)

圧縮空気中に含まれる「水蒸気」を取り除き、乾燥した圧縮空気にする冷凍式エアドライヤです。消費電力を低減したコンパクトな設計です。エアロスの少ないドレン排出器(ドレントラップ)を採用しています。環境に優しい新冷媒R-410Aを採用しており、オゾン層を破壊しません。オイルフリーエアに対応したステンレス製熱交換器を採用し、熱交換器からの発塵を防止しました。熱交換器内部の冷媒配管(銅管)にはニッケルメッキを施し、耐食性を向上させました。通常点検は操作部の冷媒圧力計と運転ランプにより、運転状態が一目で分かります。異常停止の原因が警報ランプの点灯パターンにより判別できるため、異常診断が容易です。高温環境対応能力を向上させ、周囲温度48℃でも運転が可能です。ダストフィルタを標準装備し、コンデンサ清掃の手間を低減します。脱着もきわめて容易です。遠隔操作、運転・警報信号取出しを標準装備し、工場の集中管理が可能です。上面排気により、壁ピタ設置が可能です。(ただしドレントラップが外付けのため取付位置にご注意ください)

圧縮空気中に含まれる「水蒸気」を取り除き、乾燥した圧縮空気にする冷凍式エアドライヤです。消費電力を低減したコンパクトな設計です。エアロスの少ないドレン排出器(ドレントラップ)を採用しています。環境に優しい新冷媒R-410Aを採用しており、オゾン層を破壊しません。オイルフリーエアに対応したステンレス製熱交換器を採用し、熱交換器からの発塵を防止しました。熱交換器内部の冷媒配管(銅管)にはニッケルメッキを施し、耐食性を向上させました。通常点検は操作部の冷媒圧力計と運転ランプにより、運転状態が一目で分かります。異常停止の原因が警報ランプの点灯パターンにより判別できるため、異常診断が容易です。高温環境対応能力を向上させ、周囲温度48℃でも運転が可能です。ダストフィルタを標準装備し、コンデンサ清掃の手間を低減します。脱着もきわめて容易です。遠隔操作、運転・警報信号取出しを標準装備し、工場の集中管理が可能です。上面排気により、壁ピタ設置が可能です。(ただしドレントラップが外付けのため取付位置にご注意ください)

圧縮空気中に含まれる「水蒸気」を取り除き、乾燥した圧縮空気にする冷凍式エアドライヤです。消費電力を低減したコンパクトな設計です。エアロスの少ないドレン排出器(ドレントラップ)を採用しています。環境に優しい新冷媒R-410Aを採用しており、オゾン層を破壊しません。オイルフリーエアに対応したステンレス製熱交換器を採用し、熱交換器からの発塵を防止しました。熱交換器内部の冷媒配管(銅管)にはニッケルメッキを施し、耐食性を向上させました。通常点検は操作部の冷媒圧力計と運転ランプにより、運転状態が一目で分かります。異常停止の原因が警報ランプの点灯パターンにより判別できるため、異常診断が容易です。高温環境対応能力を向上させ、周囲温度48℃でも運転が可能です。ダストフィルタを標準装備し、コンデンサ清掃の手間を低減します。脱着もきわめて容易です。遠隔操作、運転・警報信号取出しを標準装備し、工場の集中管理が可能です。上面排気により、壁ピタ設置が可能です。(ただしドレントラップが外付けのため取付位置にご注意ください)

設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。1本の検出チューブにて4点の液面検出が可能なKML60シリーズと1点の液面検出が可能なKML502シリーズの混合搭載が可能なマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。