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ガス置換の際に導入ガスの圧力と流量を調整し、ガスを確実に導入するフローコントローラーです。同時に3台(FMC-1)または4台(FMC-2)コントロールできます。複数の気室、または複数台のデシケータに対応可能です。
仕様1次圧力: 約0.98MPa(10kg/cm2)MAX、2次圧力: 0~約0.49MPa(0~5kg/cm2) 寸法(mm)280×133×190 タイプ4連式 耐圧(MPa)約0.6(7kg/cm2) 流量(L/min)30(Max、一次圧力)、10(Max、二次圧力) 耐熱温度(℃)60MAX 対象ガスAr・N2・O2・CO2・He・Air・C2H2のうち1種類 アズワン品番1-3167-02 接続チューブ外径Φ6mm<流量計> 流量10L/minMAX
1台
140,000 税込154,000
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