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空気(AIR)/窒素ガス(N2)用の小型軽量樹脂製流量計です。
適合流体空気(AIR)/窒素ガス(N2)
精度FS±6%
接続口径RC1/4
材質本体/ABS、テーパ管/アクリル、フロート/硬質ガラス、SUS316、継手/SUS303、シール材/フッ素ゴム
耐圧(MPa)0.7
最高使用温度(℃)65
エコ商品
金属製ブロック・ニードルバルブ付構造でありながらコンパクトでローコストな流量計です。
優れた流量調整性でなめらかな流量調整が可能です。
RoHS指令対応品です。
用途機器組み込み用に。
ガスパージ計測用に。
接続部のサイズRc1/8
質量(g)250
目盛10:1(有効目盛)
精度FS±10%
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)0.5
材質/仕上本体:真鍮 パッキン:ニトリルゴム(NBR)
RoHS指令(10物質対応)対応
本器は高精度フロート式流量計と、精密ニードルバルブを組合せ、微小流量の計測制御に最適の製品です
用途機器組込み用に
半導体関連ガス機器に
バイオ産業向けに
接続口径(Rc)1/4
精度±2%F.S.
寸法E(mm)29
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
独自の精密成型によるガラス管と超精密球のフロートにより、高い精度を保証します。
用途環境計測機器に。
一般分析機器に。
測定流体空気
接続部のサイズRc1/4
質量(g)379
目盛10:1(有効目盛)
精度±2%F.S(計測ポイント)
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)(最大流量5L/min以下)0.7、(最大流量10L/min以上)、0.5
徹底した合理化に基づき設計された流量計で安価でありながら精度、再現性に優れております。
用途環境計測機器に
一般分析機器に
パージ装置用に
接続口径(Rc)1/8
精度±5%F.S.
材質(フロート)パイレックス
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
非回転構造ニードルバルブを採用により超精密な流体制御が可能です。
用途環境計測機器に。
一般分析機器に。
測定流体空気
全長(mm)150
接続部のサイズRc1/4
質量(g)398
目盛10:1(有効目盛)
精度±2%F.S(計測ポイント)
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)(最大流量5L/min以下)0.7、(最大流量10L/min以上)、0.5
非回転構造ニードルバルブを採用により超精密な流体制御が可能です。
用途環境計測機器に。
一般分析機器に。
測定流体空気
接続部のサイズRc1/4
質量(g)403
目盛10:1(有効目盛)
精度±2%F.S(計測ポイント)
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)(最大流量5L/min以下)0.7、(最大流量10L/min以上)、0.5
表示器付ローコストマスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。専用AC電源アダプタPSK-3810DSⅡにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
材質(シール)FKM
使用圧力(MPa)0.0～0.5(G)
バルブの有無なし
耐圧(MPa)1.0(G)
接続RC1/4
センサー熱式センサー
所要電力DC24V±5% 100mA
温度係数FS±0.2%/℃(15～35℃)
許容周囲温度(℃)0～50
材質(ボディ)接ガス部：SUS303、PTFE
許容湿度(%)30～80(結露なきこと)
イベント出力NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA
水(H2O)用の小型軽量樹脂製流量計です。
最高使用温度(℃)65
耐圧(MPa)0.7
材質本体/ABS、テーパ管/アクリル、フロート/硬質ガラス、SUS316、継手/SUS304、シール材/フッ素ゴム
接続口径RC1/4
精度FS±6%
適合流体水(H2O)
独自の精密成型によるガラス管と超精密球のフロートにより、高い精度を保証します。
用途環境計測機器に。
一般分析機器に。
測定流体空気
接続部のサイズRc1/4
質量(g)377
目盛10:1(有効目盛)
精度±2%F.S(計測ポイント)
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)(最大流量5L/min以下)0.7、(最大流量10L/min以上)、0.5
酸素ガス(O2)用精密ニードルバルブです。流量を精密かつ容易に制御できる様に設計されています。調節ネジ部の回転運動をニードル部では直進運動にかえる構造になっており、ネジのギャップや振動がニードル部に影響する事なく、安定したなめらかな流量制御が可能です。
用途ガス・液体・微少流量域の高精度制御
使用流体酸素ガス(O2)
接続口径RC1/4
最大使用圧力(MPa)1.0
調整ねじ約12回転
アルゴンガス(AR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体アルゴンガス(AR)
精密流量制御のできるニードルバルブを組み合わせた高級グレードのバルブ付フローメータです(水(H2O)用)。微少流量の計測制御に最適です。
測定流体ガス：Air、N2、O2、H2、He、Ar、CO(実ガス校正)、液体：標準流体(H2O)
同クラスでのコストパフォーマンスに優れた低価格です。
用途サンプリング装置に。
プラントラインに。
測定流体空気
質量(kg)2.65
接続部のサイズRc3/4
目盛10:1(有効目盛)
精度±5%F.S(計測ポイント)
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)0.7
生産合理化を計り、ローコスト化、短納期化を実現しました。
安定性も高精度タイプと比較しても何ら遜色のない性能を有しています。
用途・ガスパージ用に
・機器組込み用に
・各種分析計に
接続口径(Rc)1/8
精度±5%F.S.
材質(フロート)パイレックス
同クラスでのコストパフォーマンスに優れた低価格です。
用途サンプリング装置に。
プラントラインに。
測定流体空気
質量(kg)2.55
接続部のサイズRc3/4
目盛10:1(有効目盛)
精度±5%F.S(計測ポイント)
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)0.7
空気(AIR)用精密ニードルバルブです。流量を精密かつ容易に制御できる様に設計されています。調節ネジ部の回転運動をニードル部では直進運動にかえる構造になっており、ネジのギャップや振動がニードル部に影響する事なく、安定したなめらかな流量制御が可能です。
用途ガス・液体・微少流量域の高精度制御
使用流体空気(AIR)
接続口径RC1/4
最大使用圧力(MPa)1.0
調整ねじ約12回転
冷却水洗浄水をはじめとする液体の流量測定・監視に最適な小型カルマン渦流量計です。ボディ材質にはPPS樹脂を使用しており、信頼性・耐久性にも優れています。
適合流体冷却水、洗浄水など
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
目盛10：1(有効)
精度±2%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
流体にはAir/N2またはWATERを選択いただけます。
接続口径Rc1/4(標準)、その他特殊接続可能(オプション)
全長(mm)104
精度±6%FS
耐圧(MPa)0.7
最高使用温度(℃)65
材質(接液部)ABS、アクリル、SUS303、FKM、POM、(硬質ガラス、SUS316、SUS304)
小型・軽量の大流量用樹脂製フローメータです。流体や流量等の諸条件により多数のバリエーションがあるため、かならず型式をご確認のうえ、ご選定お願い致します。仕様詳細はカタログご確認ください
接続Rc3/8
小型・軽量、シンプルで見やすい大流量用樹脂製流量計です。
バルブなし・ありの2タイプを用意しています。
装置搭載の水・エアー・N2監視用、工場エアー・水の監視用として最適です。
材質本体/アクリル、金属部分(接流体部)/SUS303・304・316、オリフィス/PA6/66、GF33樹脂、フロート/SUS316、シール材/FKM
最高温度(℃)55(使用)
精度±5%FS
耐圧(MPa)1(G)
接続Rc3/8
フルスケールで±2%の精度を持つ面積式流量計です。微小流量から中流量まで高い精度を保証します。
材質本体ブロック：真鍮、テーパー管：硬質ガラス、パッキン：NBR、フロート：硬質ガラス SUS316
接続口径Rc1/4(標準) Rc1/8、ホースニップル(オプション)等
目盛10：1(有効)
精度±2%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
バルブ【ニードルバルブ】下部バルブ(標準)：供給圧力/0.1MPa・出口圧力/0MPa(標準)
アルゴンガス(AR)用精密ニードルバルブです。流量を精密かつ容易に制御できる様に設計されています。調節ネジ部の回転運動をニードル部では直進運動にかえる構造になっており、ネジのギャップや振動がニードル部に影響する事なく、安定したなめらかな流量制御が可能です。
用途ガス・液体・微少流量域の高精度制御
使用流体アルゴンガス(AR)
接続口径RC1/4
最大使用圧力(MPa)1.0
調整ねじ約12回転
高精度な計測が可能。非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能
コンパクト設計。優れた再現性・安定性
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローメータとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量測定ユニットです。タッチパネル式で簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
炭酸ガス(CO2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体炭酸ガス(CO2)
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5～45
最大圧力(kPa)入口：500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。
DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。
ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。
センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。
別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
タイプマスフローメータ(MM)
バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%FS
表示器付ローコストマスフローメータ(ニードルバルブ一体型)です。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。また、ニードルバルブによって流量制御を行うことも可能です。専用AC電源アダプタPSK-3810DSⅡにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
材質(シール)FKM
使用圧力(MPa)0.0～0.5(G)
バルブの有無あり
耐圧(MPa)1.0(G)
接続RC1/4
センサー熱式センサー
所要電力DC24V±5% 100mA
温度係数FS±0.2%/℃(15～35℃)
許容周囲温度(℃)0～50
材質(ボディ)接ガス部：SUS303、PTFE
二次側圧力(MPa)0
許容湿度(%)30～80(結露なきこと)
イベント出力NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA
微少流量から幅広い流量レンジに対応。±2%F.S.以下の高精度な計測が可能。非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能、上部ニードルバルブ仕様対応
仕様有効目盛：10：1
材質真鍮、硬質ガラス、NBR、POM、SU316(PTFE)
精度±2%F.S.
接続Rc1/4
供給圧力(MPa)0.1
出口圧力(MPa)0
ニードル位置下部
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