商品豆知識
ボディからの漏れに対してより高い信頼性
低トルクでの高いシール性
メンテナンスの作業性を向上させた新機構
設置が手軽で確実な新構造
内蔵ストッパー機能(15mm~50mm)
ひと目で確認できるインジケーター表示(15mm~50mm)
形状ストレート
接続フランジ形
ハンドル形状丸形
規格JIS10K
材質(本体)U-PVC
使用温度範囲(℃)0~60
最高使用圧力(MPa)1.0(10.2)
バルブ種類ダイヤフラムバルブ
隔膜と堰形状の最適化により低トルクで高いシール性を発揮します。
隔膜の応力緩和の低減により外漏れに対する安全性が向上しました。
心臓部の本体とボンネットの耐圧・耐久性の向上を図りました。
ハンドルには隔膜保護の過締め防止機構と弁開度を示すインジケータを内蔵しています。
ボンネット内に雨水や埃が入らない防滴、防塵構造となっています。
フランジタイプにはフランジに転倒防止を、ユニオンタイプには底部に固定用ねじを設け、取扱い性・配管性に配慮しています。
材質(コンプレッサー)GF-PP
形状ストレート
ハンドル形状丸形
材質(Oリング)NBR
材質(スラストワッシャ)PTFE、SUJ
材質(ナット)SUS304
材質(ピン)(コンプレッサ止め)SUS304
材質(金具)(コンプレッサ)C3604
材質(カラー)PE
材質(ビス)(ハンドル止め)SUS304
材質(リング)(割り)PVC
材質(補強板)SS400エポキシ塗装
形状ストレート
ハンドル形状ローレット式
使用圧力900000~1×10-3Pa
ベーク温度(℃)60
リーク量(mbarL/s)10-6(バルブ)、10-7(カプリング)
材質(本体)アルミシリコン合金
バルブ種類ダイヤフラムバルブ
「KD」シリーズは、コンパクトデザインのダイレクトダイヤフラムバルブとして、高いCv値を実現し、半導体用高純度ガスに対応できる品質を備え、高耐久・高耐蝕性能を両立させた信頼性の高いバルブです。ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を1.2cm3(1/4"CVCオスOpen時)まで小さくする事により優れたガス置換特性を実現しています。独自の接ガス部シール構造により高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求しました。厳選されたダイヤフラム素材による高耐蝕性能と、独自の成型方法による加工により極限まで個体差をなくし、高い耐久性能を実現しました。最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。
使用温度範囲(℃)-10~80
ポート数2
最高使用圧力(MPa)1
材質(ボディ)SUS316L
関連資料(6.44MB)
バルブ種類ステンレス鋼製ダイレクトダイヤフラムバルブ
使用圧力900000~1×10-3Pa
リーク量(mbarL/s)10-6(バルブ)、10-7(カプリング)
ベーク温度(℃)60
形状ストレート
使用流体水、油、薬品
材質(本体)PP
接続フランジ式
ハンドル形状丸形
トラスコ品番850-6045
呼び径(B)2
最高使用圧力(MPa)1.0(常温)
呼び径(A)50
バルブ種類ダイヤフラムバルブ
1個
¥69,980
税込¥76,978
翌々日出荷
トラスコ品番850-6047
形状ストレート
ハンドル形状丸形
1個
¥129,800
税込¥142,780
22日以内出荷
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
材質SUS316L
材質(本体)SUS316L
温度(℃)-10~80
最高使用圧力(MPa)16.2
接続方式UJR継手
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(16.25MB)
形状ストレート
使用流体水、油、薬品
材質(本体)PVC
接続フランジ式
ハンドル形状丸形
トラスコ品番850-6057
呼び径(B)6
最高使用圧力(MPa)0.8(常温)
呼び径(A)150
アズワン品番64-5052-98
バルブ種類ダイヤフラムバルブ
1個
¥169,800
税込¥186,780
翌々日出荷
半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用できるダイヤフラムバルブです。バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、シート(ASSY)部の交換をユーザーサイドで可能としました。定期的なクリーニングを必要とする材料容器の封止バルブに対し、メンテナンス性能の向上とランニングコストダウンに有効です。シート(ASSY)部交換治具はWD4手動弁シリーズと共通です。アクチュエーター径Φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに対応可能です。
トラスコ品番850-6038
形状ストレート
ハンドル形状丸形
1個
¥29,980
税込¥32,978
翌々日出荷
形状ストレート
使用流体水、油、薬品
材質(本体)PP
接続フランジ式
ハンドル形状丸形
トラスコ品番850-6043
呼び径(B)1
最高使用圧力(MPa)1.0(常温)
呼び径(A)25
バルブ種類ダイヤフラムバルブ
1個
¥42,980
税込¥47,278
翌々日出荷
適合品番T600PNX、T600PFNKX、TG600PNX、TG600PFNKX、T600PQRX、T601PX
1個
¥4,998
税込¥5,498
当日出荷
トラスコ品番850-6053
形状ストレート
ハンドル形状丸形
1個
¥49,980
税込¥54,978
翌々日出荷
「KCD」シリーズは、「KD」シリーズをベースとして更なるコンパクト化を図ったダイレクトダイヤフラムバルブです。基本性能は最高機種の「KD」シリーズを全て受け継いだハイスペックバルブです。KDシリーズの内容積1.2cm3(1/4"CVCオスOpen時)に対し、「KCD」シリーズは0.97cm3まで小さくする事に成功しました。品種を1/4"サイズに限定しKDシリーズと同じデザインを持ちながら外観サイズを約20%縮小、重量も軽くなりました。耐久性能を落すことなく、自動弁400万回(実績値)、手動弁10万回(実績値)を実現しております。最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、多くの半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
用途半導体製造装置の超高純度ガスおよび可燃性、毒性ガスライン用
材質(本体)SUS316L
最高使用圧力(MPa)16.2
RoHS指令(10物質対応)対応
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
用途半導体製造装置の超高純度ガスおよび可燃性、毒性ガスライン用
呼び径(B)6.35
呼び径(A)6.35
RoHS指令(10物質対応)対応
材質(本体)ステンレス鋼
接続フランジ形
ダイヤフラム弁が入っており、ダイヤフラム・締付けシール・スピンドルシールの三重シールになっています。
仕様●パネル取付孔(mm):18
材質PTFE
グランドレスで流体の外部への漏れ及び外気が内部に侵入することがない。耐食性に優れた材質を使用。流体抵抗が小さく、高粘度の液に好適。上部のインジケーターで弁の開閉状態を確認できる
材質ダイヤフラム:EPDM
使用温度(℃)0~50
本体U-PVC
接続方式フランジ(10K)
ハンドルPP
関連資料納入仕様書(0.08MB)
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
用途半導体製造装置の超高純度ガスおよび可燃性、毒性ガスライン用
材質(本体)SUS316L
寸法L(mm)70.6
寸法H(mm)53
呼び径(B)6.35
温度(℃)-10~150
最高使用圧力(MPa)1
接続方式UJR継手
呼び径(A)6.35
RoHS指令(10物質対応)対応
呼び径(C)6.35
1個
¥51,980
税込¥57,178
当日出荷
ダイヤフラムバルブメスPT型はダイヤフラム弁が入っており、ダイヤフラム、締付シール、スピンドルシールの三重シールになっています。各種装置、機器等にご使用ください。なお、パネル取付け穴は、1mm位大きくあけてください。
液の泡を巻き込まないダイヤフラム式バルブ
用途セミオートマチック塗布機との組み合わせで低、中粘度の接着剤を確実に塗布することが可能です。
付属品液チューブ1/4”×1.5m、エアチューブΦ4×1.5m、ニードルサンプルキット
トラスコ品番568-6040
外径(Φmm)32
針長(mm)127
推奨エアー圧(MPa)0.5~0.7
危険物の類別非危険物
1台
¥119,800
税込¥131,780
翌々日出荷
ダイヤフラムバルブメスRc型はダイヤフラム弁が入っておりダイヤフラム、締付シール、スピンドルシールの三重シールになっています。各種装置、機器等にご使用下さい。パネル取付け穴は1m/m 位大きくあけて下さい。
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
用途半導体製造装置の超高純度ガスおよび可燃性、毒性ガスライン用
材質(本体)SUS316L
呼び径(B)6.35
温度(℃)-10~80
最高使用圧力(MPa)1
接続方式UJR継手
呼び径(A)6.35
RoHS指令(10物質対応)対応
呼び径(C)6.35
-
仕様●接続A 寸法(mm):6.35●接続B 寸法(mm):6.35●接続C 寸法(mm):6.35
材質SUS316L
材質(本体)SUS316L
寸法L(mm)115
寸法H(mm)70
温度(℃)-10~80
最高使用圧力(MPa)1
接続方式UJR継手
RoHS指令(10物質対応)対応
オールメタル構造により高温対応、高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
材質SUS316L(二重溶解材)
材質(本体)SUS316L(二重溶解材)
温度(℃)-10~300
最高使用圧力(MPa)1
接続方式UJR継手
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(2.01MB)
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
RoHS指令(10物質対応)対応
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
材質SUS316L
材質(本体)SUS316L
最高使用圧力(MPa)1
接続方式UJR継手
RoHS指令(10物質対応)対応
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
仕様●接続A 寸法(mm):12.7●接続B 寸法(mm):12.7
接続方式UJR継手
RoHS指令(10物質対応)対応
フッ素樹脂PTFE製のダイヤフラムバルブで、ダイヤフラム・締付シール・スピンドルシールの三重シールになっています。
ダイヤフラムバルブは、ダイヤフラム弁が入っており、ダイヤフラム、締付シール、スピンドルシールの三重シールになっています。
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