使用温度範囲(℃)-10~80
ポート数2
最高使用圧力(MPa)1
材質(ボディ)SUS316L
関連資料(6.44MB)
バルブ種類ステンレス鋼製ダイレクトダイヤフラムバルブ
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
材質SUS316L
材質(本体)SUS316L
温度(℃)-10~80
最高使用圧力(MPa)16.2
接続方式UJR継手
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(16.25MB)
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
RoHS指令(10物質対応)対応
ソフトダイヤフラムバルブ用ダイヤフラム。消耗品。
材質(本体)変性PTFE/EPDM
寸法L(mm)92
温度(℃)-5~150
最高使用圧力(MPa)1
接続方式変性PTFE/EPDM
呼び径(A)40A
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(2.01MB)
1個
¥19,980
税込¥21,978
45日以内出荷
形状ストレート
ハンドル形状ローレット式
使用圧力900000~1×10-3Pa
ベーク温度(℃)60
リーク量(mbarL/s)10-6(バルブ)、10-7(カプリング)
材質(本体)アルミシリコン合金
バルブ種類ダイヤフラムバルブ
ソフトダイヤフラムバルブ用ダイヤフラム。消耗品。
材質(本体)変性PTFE/EPDM
寸法L(mm)66
温度(℃)-5~150
最高使用圧力(MPa)1
接続方式変性PTFE/EPDM
呼び径(A)25A
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(2.01MB)
1個
¥11,980
税込¥13,178
45日以内出荷
ソフトダイヤフラムバルブ用ダイヤフラム。消耗品。
材質(本体)変性PTFE/EPDM
寸法L(mm)46
温度(℃)-5~150
最高使用圧力(MPa)1
接続方式変性PTFE/EPDM
呼び径(A)15A
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(2.01MB)
1個
¥9,598
税込¥10,558
当日出荷
材質ステンレス鋼製(SUSF316)
使用流体水、エアー、ガス
ソフトダイヤフラムバルブ用ダイヤフラム。消耗品。
材質(本体)変性PTFE/EPDM
寸法L(mm)35
温度(℃)-5~150
最高使用圧力(MPa)1
接続方式変性PTFE/EPDM
呼び径(A)8A
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(2.01MB)
1個
¥8,498
税込¥9,348
当日出荷
材質ステンレス鋼製(SUSF316)
使用温度範囲(℃)150
最高使用圧力(MPa)16.2
使用流体水、エアー、ガス
最高使用温度(℃)150
最低使用温度(℃)-20
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
用途半導体製造装置の超高純度ガスおよび可燃性、毒性ガスライン用
材質(本体)SUS316L
最高使用圧力(MPa)16.2
RoHS指令(10物質対応)対応
ボディは鍛造仕上げで、且つボンネットレス型のため、コンパクトです。
弁の形状はニードルになっておりますので、流量調整ができます。
酸素禁油処理品です。
グランドパッキンを除く接ガス(液)部の材質は、オールSUS316であり、良好な耐食性が得られます。
操作性を重視した設計により、ハンドルトルクが低く、シール性のよい構造となっております。
ハンドルは、デザインと操作性のよい形状になっております。
ストレートタイプとアングルタイプがあります。
材質(本体)SUSF316
バルブ型式パワフルロック式
使用温度範囲(℃)-20~150
最高使用圧力(MPa)16.2
接続方式差込み
使用流体ガス及び液体
ハンドル形状丸形
材質(グランドパッキン)PTFE
材質(ステム)SUS316
材質(ハンドル)A5056B
バルブ種類ニードルバルブ
KDシリーズの基本性能や素材及び洗浄度はそのままで部品の見直しや加工方法を見直した新デザインのバルブです。洗浄工程及び検査工程は従来モデルと同等ですので信頼性及び耐久性性能は変わりません。最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追求しました。
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
用途半導体製造装置の超高純度ガスおよび可燃性、毒性ガスライン用
呼び径(B)6.35
呼び径(A)6.35
RoHS指令(10物質対応)対応
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
用途半導体製造装置の超高純度ガスおよび可燃性、毒性ガスライン用
材質(本体)SUS316L
寸法L(mm)70.6
寸法H(mm)53
呼び径(B)6.35
温度(℃)-10~150
最高使用圧力(MPa)1
接続方式UJR継手
呼び径(A)6.35
RoHS指令(10物質対応)対応
呼び径(C)6.35
1個
¥51,980
税込¥57,178
当日出荷
-
仕様●接続A 寸法(mm):6.35●接続B 寸法(mm):6.35●接続C 寸法(mm):6.35
材質SUS316L
材質(本体)SUS316L
寸法L(mm)115
寸法H(mm)70
温度(℃)-10~80
最高使用圧力(MPa)1
接続方式UJR継手
RoHS指令(10物質対応)対応
オールメタル構造により高温対応、高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
材質SUS316L(二重溶解材)
材質(本体)SUS316L(二重溶解材)
温度(℃)-10~300
最高使用圧力(MPa)1
接続方式UJR継手
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(2.01MB)
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
材質SUS316L
材質(本体)SUS316L
最高使用圧力(MPa)1
接続方式UJR継手
RoHS指令(10物質対応)対応
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
仕様●接続A 寸法(mm):12.7●接続B 寸法(mm):12.7
接続方式UJR継手
RoHS指令(10物質対応)対応
メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、デッドスペースフリー
用途半導体製造装置の超高純度ガスおよび可燃性、毒性ガスライン用
材質(本体)SUS316L
呼び径(B)6.35
温度(℃)-10~80
最高使用圧力(MPa)1
接続方式UJR継手
呼び径(A)6.35
RoHS指令(10物質対応)対応
呼び径(C)6.35
ソフトダイヤフラムバルブ用ダイヤフラム。消耗品。
材質(本体)変性PTFE/EPDM
寸法L(mm)106
温度(℃)-5~150
最高使用圧力(MPa)1
接続方式変性PTFE/EPDM
呼び径(A)50A
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(2.01MB)
1個
¥24,980
税込¥27,478
45日以内出荷
1個
¥97,980
税込¥107,778
10日以内出荷
ソフトダイヤフラムバルブ用ダイヤフラム。消耗品。
材質(本体)PTFE/EPDM
寸法L(mm)34
寸法H(mm)10
温度(℃)0~150
最高使用圧力(MPa)0.49
接続方式PTFE/EPDM
呼び径(A)8A
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(1.95MB)
1個
¥8,998
税込¥9,898
45日以内出荷
ソフトダイヤフラムバルブ用ダイヤフラム。消耗品。
材質(本体)変性PTFE/EPDM
寸法L(mm)134
温度(℃)-5~150
最高使用圧力(MPa)1
接続方式変性PTFE/EPDM
呼び径(A)65A
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(2.01MB)
1個
¥59,980
税込¥65,978
45日以内出荷
ソフトダイヤフラムバルブ用ダイヤフラム。消耗品。
材質(本体)変性PTFE/EPDM
寸法L(mm)152
温度(℃)-5~150
最高使用圧力(MPa)1
接続方式変性PTFE/EPDM
呼び径(A)100A
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(2.01MB)
1個
¥99,980
税込¥109,978
45日以内出荷
ソフトダイヤフラムバルブ用ダイヤフラム。消耗品。
材質(本体)変性PTFE/EPDM
寸法L(mm)160
温度(℃)-5~150
最高使用圧力(MPa)1
接続方式変性PTFE/EPDM
呼び径(A)80A
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(2.01MB)
1個
¥85,980
税込¥94,578
45日以内出荷
使用圧力900000~1×10-3Pa
リーク量(mbarL/s)10-6(バルブ)、10-7(カプリング)
ベーク温度(℃)60
ボディからの漏れに対してより高い信頼性
低トルクでの高いシール性
メンテナンスの作業性を向上させた新機構
設置が手軽で確実な新構造
内蔵ストッパー機能(15mm~50mm)
ひと目で確認できるインジケーター表示(15mm~50mm)
形状ストレート
接続フランジ形
ハンドル形状丸形
規格JIS10K
材質(本体)U-PVC
使用温度範囲(℃)0~60
最高使用圧力(MPa)1.0(10.2)
バルブ種類ダイヤフラムバルブ
「KD」シリーズは、コンパクトデザインのダイレクトダイヤフラムバルブとして、高いCv値を実現し、半導体用高純度ガスに対応できる品質を備え、高耐久・高耐蝕性能を両立させた信頼性の高いバルブです。ボディ縦穴寸法を最小限にし、内容積を1.2cm3(1/4"CVCオスOpen時)まで小さくする事により優れたガス置換特性を実現しています。独自の接ガス部シール構造により高いシール性能と高耐久化、脱ガス性能、耐蝕性能を極限まで追求しました。厳選されたダイヤフラム素材による高耐蝕性能と、独自の成型方法による加工により極限まで個体差をなくし、高い耐久性能を実現しました。最高レベルの製造環境と内面研磨処理により、半導体用高純度ガスに対応しパーティクル性能を極限まで追及しました。
BSWシリーズ用ダイヤフラム消耗品
材質(本体)PTFE/BUTYL
寸法L(mm)66
寸法H(mm)24
温度(℃)0~150
最高使用圧力(MPa)0.49
接続方式PTFE/BUTYL
呼び径(A)25A
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料(1.95MB)
1個
¥9,998
税込¥10,998
当日出荷
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