「マスフローコントローラ 堀場」の検索結果
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MEMS技術を用いた、小型のマスフローメータです。業界トップクラスの小型化を実現しながら、正確な流量計測が可能です。アナログ出力1点/スイッチ出力2点の外部出力機能を持っています。
材質樹脂
温度範囲(℃)0～50(結露なきこと)
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
圧力範囲(Pa)-0.09～0.75
使用温湿度範囲0～50℃ 90%RH以下
適合流体清浄空気(JIS B 8392-1:2012(ISO 8573-1:2010)[1:1:1～5:6:2] ) 圧縮空気(JIS B 8392-1:2012(ISO 8573-1:2010)[1:1:1～1:6:2] ) 窒素ガス
スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能、プリセット機能等の機能があります。0.5sec以内の高速制御が可能です。流量制御値及び積算機能を搭載しています。消費ガスやパージガスの流量制御に適しています。※小型マスフローコントローラーには専用ケーブルまたは専用アダプタが必要です。
適合流体N2/Air
材質(ボディ)樹脂(禁油なし)
MEMS技術を用いた、小型のマスフローメータです。業界トップクラスの小型化を実現しながら、正確な流量計測が可能です。アナログ出力1点/スイッチ出力2点の外部出力機能を持っています。
材質樹脂
接続口径ワンタッチ継手 Φ8
温度範囲(℃)0～50(結露なきこと)
最大流量(L/min)200
表示積算表示：タイプ/上下反転可能(SETモード) 表示範囲/0～9999999L パルス出力レート/2L
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
圧力範囲(Pa)-0.09～0.75
使用温湿度範囲0～50℃ 90%RH以下
適合流体清浄空気(JIS B 8392-1:2012(ISO 8573-1:2010)[1:1:1～5:6:2] ) 圧縮空気(JIS B 8392-1:2012(ISO 8573-1:2010)[1:1:1～1:6:2] ) 窒素ガス
流量レンジ(L/min)6～200
流量表示：タイプ/4桁+4桁・2色LCD 上下反転可能(SETモード) 表示範囲/-19～219L/min
周波数(Hz)50/60
適合規格安全規格・CEマーキング対応、EMC指令対応、FCC対応、環境対応：RoHS指令適合
外形寸法(幅W×高さH×奥行D)(mm)48×96×170(突起部除く)
機能流量アラーム出力機能(外部出力：オープンコレクタ)、外部制御機能(流量設定信号入力、流量制御バルブ制御信号入力：全開・全閉)、流量表示機能(SEC・OUT共に表示可能)
電源(AC V)100～240
電源(VA)30MAX
アズワン品番2-752-21
モデルデジタル/アナログ通信
1個
￥89,980
税込￥98,978
当日出荷
熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕様(外部リークレート)1×10-7Pa・m3/sec(He)以下
材質(接ガス部)SUS316、PTFE、フッ素ゴム
寸法(mm)127×25.5×100
バルブ形式N/Oノーマルオープン
電源+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
再現性±0.2%FS
耐圧(MPa)1(G)
接続1/4in.SWL相当
通信方式アナログ0～5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
入出力アナログ信号(0～5VDC)
流量精度±2%FS(精度保証範囲15～35℃)
使用圧力範囲(kPa)50～300
応答性6sec
流量制御範囲5～100%FS
超小型サイズで、大流量モデルまでラインナップしています。消費ガス、パージガスの流量管理に適しています。瞬時流量及び積算機能を搭載しています。
制御電源が一体型でコンパクトです。流量設定/出力表示のみのシンプル設計で操作しやすいです。
付属品ACコード(2m)
寸法(mm)127×90×150
質量(kg)1.45
電源(V)AC100
出力電圧(V)0～5 DC(設定0.25～5 DC)
接続1/4in.SWL相当
表示形式(流量設定/出力)スケーリング表示
端子(背面)AC100Vおよび0～5VDC入出力電圧モニター
入出力アナログ信号(0～5VDC)
表示切替(設定/出力)トグルスイッチ
小型マスフローメーターMF-F用のケーブルとなります。
仕様●長さ：3m
アズワン品番65-8767-66
1個
￥4,698
税込￥5,168
9日以内出荷
超小型サイズで、大流量モデルまでラインナップしています。消費ガス、パージガスの流量管理に適しています。瞬時流量及び積算機能を搭載しています。
仕様●本体材質：樹脂●適応ガス：Air・N2●精度：±3%F.S●アラーム出力：スイッチ出力(NPN)/2点、アナログ出力/1点●応答速度：50m/sec以下●表示・機能：瞬時流量表示・積算流量表示・ツイン表示(二色表示機能)●外部出力機能(アナログ出力/1点、スイッチ出力/2点)●出力：1-5V●流量レンジ：50LM●接続口径：Φ6ワンタッチ●電源電圧：DC12～24V(10.8～26.4V)
アズワン品番65-8767-48
1個
￥47,980
税込￥52,778
62日以内出荷
マイクロリッターからの微少流量制御が可能です。冷却測定方式のため、低沸点液体材料の精密流体制御が可能です。高粘度液体材料の精密流体制御が可能です。
熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。
質量流量計ですので、温度・圧力の影響を受けません。
アナログ出力機能をはじめ幅広いアプリケーションに対応します。
ACアダプター変換ハーネスとACアダプターを併用すれば、ACコンセントからの電源供給が可能です。
ホース継手により、Rc1/4ネジをΦ10.5mmのホース接続に変換できます。
CADデータあり
流量監視に抜群の使いやすさで、双方向計測も可能です。
用途設備や塗装エアの消費流量管理。
ガスの種類空気/窒素(N2)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、炭酸ガス(CO2)、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3)、都市ガス13A(LNG：46MJ/m3)、メタン100%(CH4)、プロパン100%(C3H8)、ブタン100%(C4H10)
関連資料寸法、仕様情報(1.65MB)
定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。
安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。
バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%FS
耐圧(kPa)980(G)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下(He 透過含まず)
窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体窒素ガス(N2)
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5～45
最大圧力(kPa)入口：500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
エコ商品
金属製ブロック・ニードルバルブ付構造でありながらコンパクトでローコストな流量計です。
優れた流量調整性でなめらかな流量調整が可能です。
RoHS指令対応品です。
用途機器組み込み用に。
ガスパージ計測用に。
接続部のサイズRc1/8
質量(g)250
目盛10:1(有効目盛)
精度FS±10%
耐熱温度(℃)60
保証耐圧力(MPa)0.5
材質/仕上本体:真鍮 パッキン:ニトリルゴム(NBR)
RoHS指令(10物質対応)対応
マイクロリッターからの微少流量計測が可能です。冷却測定方式のため、低沸点液体材料の精密流体計測が可能です。高粘度液体材料の精密流体計測が可能です。
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