MEMS技術を用いた、小型のマスフローメータです。業界トップクラスの小型化を実現しながら、正確な流量計測が可能です。アナログ出力1点/スイッチ出力2点の外部出力機能を持っています。
材質樹脂
温度範囲(℃)0~50(結露なきこと)
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
圧力範囲(Pa)-0.09~0.75
使用温湿度範囲0~50℃ 90%RH以下
適合流体清浄空気(JIS B 8392-1:2012(ISO 8573-1:2010)[1:1:1~5:6:2] ) 圧縮空気(JIS B 8392-1:2012(ISO 8573-1:2010)[1:1:1~1:6:2] ) 窒素ガス
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