種類Zステージテーブル長さ(mm)50テーブル幅(mm)50耐荷重(N)29.3移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)質量(kg)0.25クランプ板クランプ平行度(mm)0.1材質(ベース)アルミ合金/黒アルマイト梨地材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロムRoHS指令(10物質対応)対応移動方向Z軸1方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 1.5、ピッチ剛性 3.0、ロール剛性 0.6許容モーメント荷重(N・cm)ヨー:150、ピッチ:100、ロール:160垂直度(mm)0.01