移動ガイドにV-CR方式を採用したXYZステージです。マイクロの取付位置にサイドと逆サイドがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)90
テーブル幅(mm)90
耐荷重(N)49
送り方式(XY軸)CMH-15F、(Z軸)CMH-13FM(各軸標準マイクロメータ)
移動ガイドXY軸 V溝とクロスローラ、Z軸 V溝レールと鋼球
質量(kg)1.25
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度 XY軸0.003、Z軸0.008
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用した移動ユニットです。送り方式にラックピニオンを使用しており、大きな移動量が得られます。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。任意の位置で保持力の高いレバー式クランプによる固定が可能です。
用途低倍率顕微鏡、観察用TVカメラ焦準装置、試料の位置合わせなど。
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)90
耐荷重(N)19.6
送り方式ラック&ピニオン
移動ガイドアリ溝
感度0.1mm
クランプレバー式
目量バーニヤ読み0.1mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置片ハンドル
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)約18mm
移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用した移動ユニットです。送り方式にラックピニオンを使用しており、大きな移動量が得られます。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。任意の位置で保持力の高いレバー式クランプによる固定が可能です。
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)140
耐荷重(N)19.6
送り方式ラック&ピニオン
移動ガイドアリ溝
感度0.1mm
クランプレバー式
目量バーニヤ読み0.1mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置粗微動片ハンドル
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)粗動1回転約25.5mm・(ツマミ1回転)微動1回転約3.3mm
ハイグレードアルミXYステージと、ハイグレードZ昇降ステージを組み合わせたXYZステージです。
標準型、対称型があり左右対称が構成できます。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)14.7
送り方式(XY軸)CMH-6.5RA、(Z軸)CMH-6.5F(各軸標準マイクロメータ)
移動ガイドXY軸:HG-VCR方式(V溝とクロスローラ)、Z軸:V溝とクロスローラ
質量(kg)0.18
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度 XY軸:0.002、Z軸:0.003
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
XYZ軸方向の微動ユニットです。移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用し、送り方式に送りねじを使用しています。任意の位置で保持力の高いクランプによる固定が可能です。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ
送り方式送りねじP=0.5mm
移動ガイドアリ溝
材質(ベース)アルミ合金/黒アルマイト梨地
材質/処理(テーブル)真鍮/クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)約0.5mm
移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用した移動ユニットです。送り方式にラックピニオンを使用しており、大きな移動量が得られます。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)25
テーブル幅(mm)25
耐荷重(N)4.9
送り方式ラック&ピニオン
移動ガイドアリ溝
質量(kg)1.3
感度0.1mm
クランプ-
目量バーニヤ読み0.1mm
材質/処理(テーブル)真鍮/クロム、塗装
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置片ハンドル
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度0.05
移動量(ツマミ1回転)約18mm
1台
¥41,980
税込¥46,178
3日以内出荷
移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用した移動ユニットです。送り方式にラックピニオンを使用しており、大きな移動量が得られます。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。任意の位置で保持力の高いレバー式クランプによる固定が可能です。
用途低倍率顕微鏡、観察用TVカメラ焦準装置、試料の位置合わせなど
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)19.6
送り方式ラック&ピニオン
移動ガイドアリ溝
感度0.1mm
クランプレバー式
目量バーニヤ読み0.1mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置片ハンドル
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)約18mm
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)50
テーブル幅(mm)50
耐荷重(N)29.4
送り方式CMH-13RM(各軸標準マイクロメータ)
移動ガイドHG-VCR方式(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.58
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置(XY軸)サイド
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度 XY軸0.002、Z軸0.003
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
移動ガイドにV-CR方式を採用したXYZステージです。マイクロの取付位置にサイドと逆サイドがあります。カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)125
テーブル幅(mm)125
耐荷重(N)49
送り方式(XY軸)MHN1-25T、(Z軸)CMH-13FM(各軸標準マイクロメータ)
移動ガイドV溝とクロスローラ
質量(kg)5.7
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(XY軸)鋼材/硬質黒色クロム、(Z軸)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度 XY軸0.003、Z軸0.005
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)29.4
送り方式CMH-13RM(各軸標準マイクロメータ)
移動ガイドHG-VCR方式(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.43
感度0.003mm
クランプ板クランプ
目量マイクロメータ式0.01mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置(XY軸)サイド
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度 XY軸0.002、Z軸0.003
移動量(ツマミ1回転)(XYZ軸)0.5mm
移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用した移動ユニットです。送り方式にラックピニオンを使用しており、大きな移動量が得られます。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。任意の位置で保持力の高いクランプによる固定が可能です。
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)76
テーブル幅(mm)76
耐荷重(N)49
送り方式ラック&ピニオン
移動ガイドアリ溝
感度0.1mm
クランプ(XY軸)ツマミねじ式、(Z軸)重荷重用板クランプ
目量バーニヤ読み0.1mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置(X軸)片ハンドル、(YZ軸)両ハンドル
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)約18mm
基板などの精密穴開け加工に最適。等ピッチの穴開け加工が可能。ミニバイスとの組み合わせ使用も可能。
仕様K-24(ミニバイス)の取付可能
付属品クランプ
質量(g)800
テーブル寸法(mm)210×70
適合品番K-21用
スライド寸法(mm)(前後)各23、(左右)各66
ハンドル目盛1目盛0.05mm(1回転:1mm)
1個
¥16,980
税込¥18,678
当日出荷
ボールガイドのX軸とフラットZ軸ステージを組合せたXZ軸ステージです。
移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用した移動ユニットです。送り方式にラックピニオンを使用しており、大きな移動量が得られます。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。任意の位置で保持力の高いクランプによる固定が可能です。
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)76
テーブル幅(mm)76
耐荷重(N)49
送り方式ラック&ピニオン
移動ガイドアリ溝
感度0.1mm
クランプ(XY軸)ツマミねじ式、(Z軸)重荷重用板クランプ
目量バーニヤ読み0.1mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置(X軸)粗微動片ハンドル、(YZ軸)粗微動両ハンドル
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)粗動1回転約25.5mm・(ツマミ1回転)微動1回転約3.3mm
移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用した移動ユニットです。送り方式にラックピニオンを使用しており、大きな移動量が得られます。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。任意の位置で保持力の高いレバー式クランプによる固定が可能です。
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)140
耐荷重(N)19.6
送り方式ラック&ピニオン
移動ガイドアリ溝
感度0.1mm
クランプレバー式
目量バーニヤ読み0.1mm
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置片ハンドル
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)約18mm
ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。
X・Y・Z軸3方向に移動可能なブロック型のステージです。ハンドルが分離型となっており、各面に突起物がありません。付属のハンドル以外に市販の六角レンチもご使用いただけます。クランプねじの締め付けは六角レンチで行います。調整後動かしたくない用途に最適です。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)60
テーブル幅(mm)60
耐荷重(N)19.6
送り方式ラック&ピニオン
移動ガイドアリ溝
質量(kg)0.8
感度0.1mm
クランプ六角レンチ式
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置ハンドル分離式
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度0.03
移動量(ツマミ1回転)約19.5mm
1個
¥79,980
税込¥87,978
60日以内出荷
移動ガイドにアリ溝(D-T方式)を使用した長作動移動ユニットです。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。ブロックの追加が可能で、1つのレールに複数の移動ユニットが設置可能です。任意の位置で保持力の高いレバー式クランプによる固定が可能です。目盛1mm、長さ1000mmのメモリシールと指標シールが付属します。任意の位置への貼り付けが可能です。
種類Xステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)29.4
送り方式ラック&ピニオン
移動ガイドアリ溝
感度0.1mm
クランプレバー式
目量1m
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置粗微動片ハンドル
移動方向X軸1方向
移動量(ツマミ1回転)粗動1回転約25.5mm・(ツマミ1回転)微動1回転約3.3mm
3軸方向の微調整用精密ステージです。θ軸(回転)ステージを最上部に配置しているため、XY軸ステージにて心出し(例えば顕微鏡の目盛板との心出し調整)調整後、同心上でサンプルなどを回転させることができます。
X・Y・Z軸3方向に移動可能なブロック型のステージです。ハンドルが分離型となっており、各面に突起物がありません。付属のハンドル以外に市販の六角レンチもご使用いただけます。クランプねじの締め付けは六角レンチで行います。調整後動かしたくない用途に最適です。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
移動方向XYZ軸3方向
質量(kg)0.25
種類xyzステージ
感度0.1mm
クランプ六角レンチ式
耐荷重(N)4.9
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置ハンドル分離式
送り方式ラック&ピニオン
移動ガイドアリ溝
移動精度(mm)真直度0.02
テーブル幅(mm)40
テーブル長さ(mm)40
ストローク(X距離)(mm)±5
ストローク(Y距離)(mm)±5
ストローク(Z距離)(mm)0~10
移動量(ツマミ1回転)約16mm
1個
¥68,980
税込¥75,878
3日以内出荷
X・Y・Z軸3方向に移動可能なブロック型のステージです。ハンドルが分離型となっており、各面に突起物がありません。付属のハンドル以外に市販の六角レンチもご使用いただけます。クランプねじの締め付けは六角レンチで行います。調整後動かしたくない用途に最適です。カメラ、センサなどの位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyzステージ
テーブル長さ(mm)30
テーブル幅(mm)30
耐荷重(N)4.9
送り方式ラック&ピニオン
移動ガイドアリ溝
質量(kg)0.14
感度0.1mm
クランプ六角レンチ式
材質/処理(テーブル)アルミ合金/黒アルマイト梨地
RoHS指令(10物質対応)対応
操作位置ハンドル分離式
移動方向XYZ軸3方向
移動精度(mm)真直度0.02
移動量(ツマミ1回転)約19.5mm
1個
¥61,980
税込¥68,178
60日以内出荷
電源電圧AC90~240V 50/60Hzの3軸コントローラドライバです。モータ駆動電流自動設定機能によりメーカー自動ステージでは駆動電流が自動的に設定されます。これにより、軸ごとに駆動電流値の異なるステージを混在接続できます。低振動マイクロステップドライバを搭載。従来のマイクロステップドライバより低振動駆動を実現しました。マイクロステップ駆動により低速時の振動を抑制し、ステップ角を1/250まで分割することができます。操作ボックスQT-AK3によるジョグ移動、ステップ移動、ティーチング動作、ワンタッチスピード切替などが可能です。標準添付の専用アプリケーションソフト(QT-EDIT)で作成したプログラムを記憶し、コントローラ単体での自動運転が可能です。操作ボックスの液晶に単位表示(mm、μm、デシマル度、度分秒を記号等で簡易表示)が可能です。パソコン用インターフェースとして、RS-232C、USB(Type-B)を標準搭載しています。QT-AT(別売り)を併用することで、汎用入出力、駆動パルス出力、移動/ 停止出力、任意ステップパルス出力、内蔵プログラムCH選択入力、駆動パルス入力、移動開始入力、など各種信号入出力により他の機器との接続が可能です。各軸独立制御、2軸間直線補間移動(AB軸間のみ)・2軸間円弧補間移動(AB軸間のみ)が可能です。台形駆動により滑らかな加速・減速が可能なS字駆動機能を標準搭載しています。電磁ブレーキ制御機能を装備しています。QT-BK(別売り)の併用により電磁ブレーキ制御が可能です。
付属品取扱説明書、ゴム足4個、CD-ROM※取扱説明書のデータはCD-ROMに収納
適合機種メーカー自動ステージ
質量(kg)4.8(QT-BMM3、QT-AK3)
種類コントローラ本体
ケーブル長(m)電源ケーブル 約2
外形寸法(幅W×奥行D×高さH)(mm)165×303×110(突起部含まず)
使用周囲温度(℃)10~40
入力電源AC90~240V 50/60Hz
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
制御軸数3軸
周囲湿度(%)20~80(非結露)
1台
¥439,800
税込¥483,780
3日以内出荷
電源電圧AC90~240V 50/60Hzの3軸コントローラドライバです。モータ駆動電流自動設定機能によりメーカー自動ステージでは駆動電流が自動的に設定されます。これにより、軸ごとに駆動電流値の異なるステージを混在接続できます。低振動マイクロステップドライバを搭載。従来のマイクロステップドライバより低振動駆動を実現しました。マイクロステップ駆動により低速時の振動を抑制し、ステップ角を1/250まで分割することができます。操作ボックスQT-AK3によるジョグ移動、ステップ移動、ティーチング動作、ワンタッチスピード切替などが可能です。標準添付の専用アプリケーションソフト(QT-EDIT)で作成したプログラムを記憶し、コントローラ単体での自動運転が可能です。操作ボックスの液晶に単位表示(mm、μm、デシマル度、度分秒を記号等で簡易表示)が可能です。パソコン用インターフェースとして、RS-232C、USB(Type-B)を標準搭載しています。QT-AT(別売り)を併用することで、汎用入出力、駆動パルス出力、移動/ 停止出力、任意ステップパルス出力、内蔵プログラムCH選択入力、駆動パルス入力、移動開始入力、など各種信号入出力により他の機器との接続が可能です。各軸独立制御、2軸間直線補間移動(AB軸間のみ)・2軸間円弧補間移動(AB軸間のみ)が可能です。台形駆動により滑らかな加速・減速が可能なS字駆動機能を標準搭載しています。電磁ブレーキ制御機能を装備しています。QT-BK(別売り)の併用により電磁ブレーキ制御が可能です。
付属品取扱説明書、ゴム足4個、CD-ROM※取扱説明書のデータはCD-ROMに収納
適合機種メーカー自動ステージ
質量(kg)4.1
種類コントローラ本体
ケーブル長(m)電源ケーブル 約2
外形寸法(幅W×奥行D×高さH)(mm)165×303×110(突起部含まず)
使用周囲温度(℃)10~40
入力電源AC90~240V 50/60Hz
RoHS指令(10物質対応)10物質対応
制御軸数3軸
周囲湿度(%)20~80(非結露)
1台
¥379,800
税込¥417,780
3日以内出荷
ボールガイドのX軸ステージとZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
テーブル長さ(mm)130
テーブル幅(mm)130
耐荷重(N)196(20kgf)
送り方式ボールネジ
リード(mm)1
移動ガイドXY:精密クロスローラガイド、θ:クロスローラベアリング
有効移動範囲(mm)XY:±5
移動量(°)θ:±5
分解能(μm)XY:1/0.5(フル/ハーフ)
分解能θ:0.000674°/0.000337°(フル/ハーフ)
最高速度(mm/s)XY:10 : Half 20kpps
最高速度(°/s)θ:6.74 : Half 20kpps
ロストモーション(mm)XY:≦ 0.002
ロストモーション(°)θ:≦ 0.005
真直度(μm)[水平/垂直]XY:≦ 1
繰返し精度(μm)XY:≦±0.5(位置決め)
再現性(度)θ:≦ 0.001
バックラッシュXY:≦ 1μm θ:≦ 0.005°
振れ(μm)θ:≦5/±5°
偏心θ:≦3μm/±5°
モーメント荷重(arcsec/N・cm)XY:0.1
自重(kg)4.5
使用モータPK523HPMB(オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相、基本ステップ角 0.36°、 リード線5本)(3軸共通)
コネクタ形状丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)(3軸共通)
タイプステージ結線:V3(3軸共通)
センサー型式XYθ:F-115(HOME、 LIMIT)
1台
¥699,800
税込¥769,780
23日以内出荷
お得なセット品をご用意しました。お手元に届いたその日から、簡単に操作することができます。X軸セット/手軽に直進1方向の自動位置決めとJOG駆動を行うことができます。XY軸セット/XY軸自動アライメント、パソコン無しでプログラム運転が可能です。XYθ軸セット/半導体ウエハのマーキングなどの微小位置、角度調整用自動ステージシステムです。XYZ軸セット/計測・検査装置やワークのXYZ軸自動位置決め用途に最適です。
6軸方向の微調整用精密ステージです。XY軸スチールステージ、Z軸フラットスチールステージ、θ軸粗微動ステージ、αβ軸小型ゴニオステージ、αβ軸ゴニオステージを組合せたものです。
ボールガイドのXY軸ステージとフラットZ軸ステージを組合せたステージです。
ボールガイドのX軸とフラットZ軸ステージを組合せたXZ軸ステージです。
マイクロメーターヘッドを移動するステージ側に、マイクロあてをステージ下面側に取り付けた垂直面取付に特化したZ軸ステージです。
高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、高剛性・軽量化を実現しました。位置・アライメント調整に最適で、滑らかな移動が得られます。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れた直動ステージです。
焼入れされたスチール製のステージ本体と移動テーブルに直接ガイド加工を施した非常に耐久性に優れたXY軸直動ステージです。
シグマ光機独自の実績ある高剛性一体型ガイドから、セパレート型へ進化し、高剛性・軽量化を実現しました。
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