電離真空計ULVAC(アルバック)22日以内出荷から91日以内出荷
異なる測定範囲の測定子が接続可能:マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能。
コンパクト:従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス
ユーザビリティ向上:PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
ラインアップの充実:アナログ出力仕様(ST200-A)、シリアル通信仕様(ST200-R)に加え、EtherCAT仕様(ST200-E)を追加予定
世界初の三極管型メタル電離真空計(特許申請中):真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
フィラメント寿命お知らせ機能:フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
広範囲の圧力測定:大気圧から高真空領域(1×10+5~1×10-5Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)
正確な大気圧測定:チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)
質量(g)約280(コントローラ)、80(測定子)使用温度範囲(℃)10~50出力測定値出力電圧 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁・圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}使用温度範囲ST200-A(10~50℃)適合規格CE精度(測定)1.0×10^-4~3.0×10+0Pa:±10%(ST200-A単体モード)、1.0×10^-4~1.0×10+4Pa:±10% 1.0×10^4~1.0×10^5Pa:±20%(ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード)、1.0×10^-4~1.0×10^4Pa:±10% 1.0×10^4~3.0×10^5Pa:±3%F.S.(3.0×10^3Pa・基準温度25℃)(ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード)端末仕様対応:パソコン:Windows10 64bit 以降スマートフォン:Android 6以上、USB TypeC電源電圧(V)DC20~28(リップル、ノイズ1%以下)8W以下保護等級IP30入力信号制御:FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF オープンコレクタ入力で動作、負論理表示LEDPOWER/ERROR: パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化)測定子電離真空計測:ISG1外寸法(mm)ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、SWU10-R+測定子/Φ40×81、SAU+測定子/Φ30×67.5出力信号制御:センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1Vコネクタ入出力:D-sub15ピン(M2.6ネジ)保管温度範囲(℃)-20~65(非通電時、結露なきこと)表示更新時間60msec繰返し精度(%)(N2)ST200単体モード:±2耐圧(Pa)センサ:2×105(絶対圧)フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要湿度範囲(%)15~80(ただし、結露なきこと)サンプリング周期(ms)60(5回の移動平均処理)