大型真空ユニット (ZR1-BM1～)

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応。
モジュール設計による必要機能組合せが可能。
ダブルソレノイドによる自己保持機能。
マニホールド化可能。
デジタル真空スイッチ、電磁弁等の機能の選定が可能。