真空ユニット(ZX1-VAJ15～)

選択解除 ZX1-VAJ15G-D-M ZX1-VAJ15G-D-S ZX1-VAJ15GB-D-M ZX1-VAJ15GB-D-S ZX1-VAJ15GBY-D-M ZX1-VAJ15GBY-D-S ZX1-VAJ15GS-D-M ZX1-VAJ15GS-D-S ZX1-VAJ15GSB-D-M ZX1-VAJ15GSB-D-S ZX1-VAJ15GSBY-D-M ZX1-VAJ15GSBY-D-S ZX1-VAJ15GSY-D-M ZX1-VAJ15GSY-D-S ZX1-VAJ15GY-D-M ZX1-VAJ15GY-D-S ZX1-VAJ15GZ-D-M ZX1-VAJ15GZ-D-S ZX1-VAJ15GZB-D-M ZX1-VAJ15GZB-D-S ZX1-VAJ15GZBY-D-S ZX1-VAJ15GZY-D-S ZX1-VAJ15H-D-M ZX1-VAJ15H-D-S ZX1-VAJ15HB-D-M ZX1-VAJ15HB-D-S ZX1-VAJ15HBY-D-S ZX1-VAJ15HS-D-M ZX1-VAJ15HS-D-S ZX1-VAJ15HSB-D-M ZX1-VAJ15HSB-D-S ZX1-VAJ15HSBY-D-S ZX1-VAJ15HSY-D-S ZX1-VAJ15HY-D-S ZX1-VAJ15HZ-D-M ZX1-VAJ15HZ-D-S ZX1-VAJ15HZB-D-M ZX1-VAJ15HZB-D-S ZX1-VAJ15HZBY-D-S ZX1-VAJ15HZY-D-S ZX1-VAJ15L-D-M ZX1-VAJ15L-D-S ZX1-VAJ15LB ZX1-VAJ15LB-D-M ZX1-VAJ15LB-D-S ZX1-VAJ15LBY-D-S ZX1-VAJ15LN-D-M ZX1-VAJ15LN-D-S ZX1-VAJ15LNB-D-M ZX1-VAJ15LNB-D-S ZX1-VAJ15LNBY-D-S ZX1-VAJ15LNS-D-M ZX1-VAJ15LNS-D-S ZX1-VAJ15LNSB-D-M ZX1-VAJ15LNSB-D-S ZX1-VAJ15LNSBY-D-S ZX1-VAJ15LNSY-D-S ZX1-VAJ15LNY-D-S ZX1-VAJ15LNZ ZX1-VAJ15LNZ-D-M ZX1-VAJ15LNZ-D-S ZX1-VAJ15LNZB-D-M ZX1-VAJ15LNZB-D-S ZX1-VAJ15LNZBY-D-S ZX1-VAJ15LNZY-D-S ZX1-VAJ15LO-D-M ZX1-VAJ15LO-D-S ZX1-VAJ15LO-M ZX1-VAJ15LOB-D-M ZX1-VAJ15LOB-D-S ZX1-VAJ15LOBY-D-S ZX1-VAJ15LOS-D-M ZX1-VAJ15LOS-D-S ZX1-VAJ15LOSB-D-M ZX1-VAJ15LOSB-D-S ZX1-VAJ15LOSBY-D-S ZX1-VAJ15LOSY-D-S ZX1-VAJ15LOY-D-S ZX1-VAJ15LOZ ZX1-VAJ15LOZ-D-M ZX1-VAJ15LOZ-D-S ZX1-VAJ15LOZB ZX1-VAJ15LOZB-D-M ZX1-VAJ15LOZB-D-S ZX1-VAJ15LOZBY-D-S ZX1-VAJ15LOZY-D-S ZX1-VAJ15LS-D-M ZX1-VAJ15LS-D-S ZX1-VAJ15LSB-D-M ZX1-VAJ15LSB-D-S ZX1-VAJ15LSBY-D-S ZX1-VAJ15LSY-D-S ZX1-VAJ15LY-D-S ZX1-VAJ15LZ ZX1-VAJ15LZ-D-M ZX1-VAJ15LZ-D-S ZX1-VAJ15LZB ZX1-VAJ15LZB-D-M ZX1-VAJ15LZB-D-S ZX1-VAJ15LZBY-D-S ZX1-VAJ15LZY-D-S

選択解除 (5)DC24DC24

選択解除 (L)L型プラグコネクタタイプ(LN)L型プラグコネクタタイプ・リード線なし(LO)L型プラグコネクタタイプ・コネクタなしL型プラグコネクタコネクタなしL型プラグコネクタリード線なしL型プラグコネクタリード線長さ0.3mグロメットリード線長さ0.3mグロメットリード線長さ0.6m

選択解除 (Z)ランプ・サージ電圧保護回路付なしサージ電圧保護回路付ランプ・サージ電圧保護回路付

選択解除 (-)ノンロックプッシュ式(B)ロック式ドライバ操作形ノンロックプッシュ式ロック式ドライバ操作形

選択解除 (J1)供給弁：電磁弁N.C.(V114)、破壊弁：なし供給弁:電磁弁N.C.(VJ114)；破壊弁:なし