ハイグレードXYステージ 40×40(対称型)
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性ステージです。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)40
テーブル幅(mm)40
耐荷重(N)95.2
移動ガイドHG-VCR(V溝とクロスローラ)
質量(kg)0.4
平行度(mm)0.030、運動の平行度：0.014
材質/処理(テーブル)ステンレス/黒色酸化クロム
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.001ヨーイング15sec、ピッチング25sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性 0.08、ピッチ剛性 0.06、ロール剛性 0.06
許容モーメント荷重(N・cm)ヨー：500、ピッチ：500、ロール：500
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