オイルを使用しないダイアフラム型の真空ポンプです。オイルミストの飛散がなく、クリーンな作業環境が得られます。小型・軽量で移動が容易、装置への組み込みにも最適です。シンプルな構造でメンテナンス性にすぐれています。