VCR 超精密X・Y軸ステージ 130×200(マグネスケール付)
移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、超精密ステージです。
ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。
種類xyステージ
テーブル長さ(mm)130
テーブル幅(mm)200
耐荷重(N)216
送り方式手動ねじ式
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(リニアスケール)マグネスケールおよび表示ユニット付
質量(kg)16
クランプ割締め式
平行度(mm)0.06
目量バーニヤ読み0.05mm/スケール表示ユニット読み0.0005mm(0.5μm)
材質/処理(テーブル)鋼材/カニゼンメッキ
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003、ヨーイング・ピッチング15sec
モーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性:0.02、ピッチ剛性:0.02、ロール剛性:0.01
移動量(ツマミ1回転)1mm
内容量1個