移動ガイドにV溝とクロスローラ(V-CR方式)を使用した、超精密ステージです。
ワークの精密位置決め、測定機の試料台などの用途に広く利用いただけます。
種類xyステージテーブル長さ(mm)130テーブル幅(mm)200耐荷重(N)216送り方式手動ねじ式移動ガイドV溝とクロスローラ仕様(リニアスケール)マグネスケールおよび表示ユニット付質量(kg)16クランプ割締め式平行度(mm)0.06目量バーニヤ読み0.05mm/スケール表示ユニット読み0.0005mm(0.5μm)材質/処理(テーブル)鋼材/カニゼンメッキRoHS指令(10物質対応)対応移動方向XY軸2方向移動精度(mm)真直度(水平・垂直)0.003、ヨーイング・ピッチング15secモーメント剛性(sec/N・cm)ヨー剛性:0.02、ピッチ剛性:0.02、ロール剛性:0.01移動量(ツマミ1回転)1mm内容量1個