X・Yステージ 高精度高剛性型
機械精度を追求した超高精度の自動XYステージです。
各種センサ、ワークの自動位置決め用途に使用できます。
原点前センサおよびリミットセンサは位置の調整が可能です。
種類xyステージ
送り方式送りねじ
移動ガイドV溝とクロスローラ
仕様(送りねじ)ボールねじ
表面処理(テーブル)カニゼンメッキ、(ベース)塗装
繰返し精度(mm)±0.0005
センサー原点センサ/ノーマルオープン接点(メイク接点、A接点)動作、フォトセンサ(bar)原点前・リミットセンサ/ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ
分解能0.002mm
適合ケーブルACB-STD2、ACB-STD3
RoHS指令(10物質対応)対応
移動方向XY軸2方向
送りねじリード(mm)1
ロストモーション(mm)0.0005
最高速度(mm/s)16(8000pps時)
材質(テーブル)鋼材
内容量1個