ウェハホルダ 4，5，6インチ用
MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。
3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。
3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。
適合4、5、6インチ用
RoHS指令(10物質対応)対応
内容量1個
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MSS-Aシリーズ、MSS-Bシリーズ、MSS-Cシリーズ共通のウェハホルダです。
3インチから300mmウェハまで幅広く対応しています。
3点の調整ねじが付いており、平行調整が可能です。