シグマファインステージ

シグマファインステージ - シグマ光機
種類Zステージストローク(Z距離)(mm)0.1±15%分解能10nm(クローズ時)RoHS指令(10物質対応)対応内容量1台
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19238808SFS-H40Z(CL)40406.7
250,000
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19238817SFS-H60Z(CL)60609.8
270,000
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