真空用テンプ・プレート ミニサイズ4点表示
4点表示・真空内温度測定対応シール プラズマ雰囲気対策としてカプトンフィルムでカバー 裏面印刷なので真空中での印刷インク飛散防止(アウトガスを最小限に抑えます)従来タイプのような、カプトンテープの重ね貼りの必要がなく作業工数短縮
(従来の441シリーズの1/3)貼り付け精度向上ラベルの端から示温素子中心まで2mm。ウエハー・エッジの温度を測る事が出来る すべてのレンジにカプトンフィルム使用
- 用途
- ・半導体製造装置のウエハの実温測定 ・LCD製造装置における硝子基板の温度測定 ・真空装置の内部治具の温度測定
- 寸法(幅W×高さH)(mm)
- 16×5
- 表示
- 4点表示
- 精度(%)
- ±1
- 内容量
- 1ケース(10枚)
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変色温度(℃)
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