ダイヤフラムバルブ WD4MSシリーズ
半導体や液晶装置で使用されるTEOS等の高純度液体材料を流体として使用できるダイヤフラムバルブです。バルブの基本特性、パーティクル性能やパージ特性を維持しながら、シート(ASSY)部の交換をユーザーサイドで可能としました。定期的なクリーニングを必要とする材料容器の封止バルブに対し、メンテナンス性能の向上とランニングコストダウンに有効です。シート(ASSY)部交換治具はWD4手動弁シリーズと共通です。アクチュエーター径Φ39.7mmで、ラインピッチ40mmに対応可能です。
内容量1個
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よくあるご質問(FAQ)
- 質問：
- 製品の安全データシート（SDS）や有害物質使用制限に関するデータ（RoHS）等の書面が必要ですがどうすれば良いですか。
- 回答：
- お手数ですが下記URLのお問合せフォームよりご依頼ください。
お問合せ種類 *必須の中から必要な書類をお選びご依頼ください。
https://help.monotaro.com/app/ask
書類名）
1：SDS(MSDS)
2：RoHS(2)
3：非該当証明書
4：ChemSHERPA
5：その他（ミルシート・出荷証明書）
2022-04-07
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