インライン形クリーンフィルタ FCS1000シリーズ 樹脂タイプ
フィルタエレメントに中空糸膜を採用したインライン形クリーンフィルタです。
独自の中空糸膜エレメントを採用し、ろ過精度0.01μm、除去効率99.99%を実現しました。
中空糸膜のため、平膜式と比べ、寿命は約5倍アップと長寿命です。
同一容積の平膜式に比べ、3～10倍のろ過面積があり、大流量で低圧損です。同一流量なら小形・軽量化が可能です。
メンテナンス時期を容易に判断するため、透明ケースを採用し、エレメントの汚れを目視確認できるようにしました。
禁油仕様です。部品はすべて脱脂洗浄を実施し、組立から包装までをクリーンルーム内で一貫生産しています。
用途クリーンエア供給用フィルタとして。イオナイザーへのクリーンエア供給用に。液晶基板など非接触搬送時のクリーンエア供給用に。吸着搬送、真空破壊時のエアクリーン化。
ろ過度(μm)0.01(除去効率99.99%)
使用流体圧縮空気、窒素ガス(N2)
耐圧力(MPa)1.5
耐差圧(MPa)0.5
使用圧力(MPa)-0.095～0.99
周囲温度および使用流体温度(℃)5～45
処理流量(L/min[ANR])300～400
材質(ボディ)ポリアミド
材質(ケース)透明ポリアミド
材質(エレメント)ポリプロピレン+ウレタン
特性(組立・検査・包装)クリーンルームにて一貫生産
洗浄脱脂洗浄
付属品取付ねじ(M3 ×40)、平座金、ばね座金、各2個
内容量1個
注意
※アブソリュートフィルタ(絶対ろ過度)としては使えません。異物を極端に嫌う用途(ウェハーへの直接ブローなど)には使用しないでください。※一次圧力0.7MPa、圧力降下0.03MPa時の初期流量です。(接続口径により変化します。)
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2022-07-26
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