薄型アライメントステージ
テーブル長さ(mm)130テーブル幅(mm)130耐荷重(N)196(20kgf)送り方式ボールネジリード(mm)1移動ガイドXY：精密クロスローラガイド、θ：クロスローラベアリング有効移動範囲(mm)XY：±5移動量(°)θ：±5分解能(μm)XY:1/0.5(フル/ハーフ)分解能θ:0.000674°/0.000337°(フル/ハーフ)最高速度(mm/s)XY：10 : Half 20kpps最高速度(°/s)θ：6.74 : Half 20kppsロストモーション(mm)XY：≦ 0.002ロストモーション(°)θ：≦ 0.005真直度(μm)[水平/垂直]XY:≦ 1繰返し精度(μm)XY：≦±0.5(位置決め)再現性(度)θ：≦ 0.001バックラッシュXY：≦ 1μm θ：≦ 0.005°振れ(μm)θ：≦5/±5°偏心θ：≦3μm/±5°モーメント荷重(arcsec/N・cm)XY：0.1自重(kg)4.5使用モータPK523HPMB(オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相、基本ステップ角 0.36°、 リード線5本)(3軸共通)コネクタ形状丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)(3軸共通)タイプステージ結線:V3(3軸共通)センサー型式XYθ:F-115(HOME、 LIMIT)内容量1台
ステージ/画像処理 の新着商品
カテゴリ
商品レビュー
よくあるご質問(FAQ)
「自動ステージ」にはこんなカテゴリがあります
シェアする
