薄型アライメントステージ

テーブル長さ(mm)130 テーブル幅(mm)130 耐荷重(N)196(20kgf) 送り方式ボールネジ リード(mm)1 移動ガイドXY：精密クロスローラガイド、θ：クロスローラベアリング 有効移動範囲(mm)XY：±5 移動量(°)θ：±5 分解能(μm)XY:1/0.5(フル/ハーフ) 分解能θ:0.000674°/0.000337°(フル/ハーフ) 最高速度(mm/s)XY：10 : Half 20kpps 最高速度(°/s)θ：6.74 : Half 20kpps ロストモーション(mm)XY：≦ 0.002 ロストモーション(°)θ：≦ 0.005 真直度(μm)[水平/垂直]XY:≦ 1 繰返し精度(μm)XY：≦±0.5(位置決め) 再現性(度)θ：≦ 0.001 バックラッシュXY：≦ 1μm θ：≦ 0.005° 振れ(μm)θ：≦5/±5° 偏心θ：≦3μm/±5° モーメント荷重(arcsec/N・cm)XY：0.1 自重(kg)4.5 使用モータPK523HPMB(オリエンタルモーター: 定格電流 0.75A/相、基本ステップ角 0.36°、 リード線5本)(3軸共通) コネクタ形状丸形20ピン(ヒロセ: RP13A-12JG-20PC)(3軸共通) タイプステージ結線:V3(3軸共通) センサー型式XYθ:F-115(HOME、 LIMIT) 内容量1台