フジキン 自動ダイヤフラムバルブ

NEW MEGA-MINI LA・新タイプ・低圧コンパクトエアオペレーションバルブ・NEW MEGA-MINI LAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-MINI LAの性能はそのままに、コンパクト化を図りました。
アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。・Φ35の小型アクチュエータの採用によりコンパクトです。
優れた耐久性400万回以上
ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようアクチュエータキャップ上部で、簡単に識別できます。
高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム
良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 0.84 cc)
シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PI・PAもオプション設定しています。
接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。・オプションでUP処理も可能です。