フジキン 自動ダイヤフラムバルブ

NEW MEGA-MINI HA・新タイプ・高圧コンパクトエアオペレーションバルブ・NEW MEGA-MINI HAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・従来のMEGA-MINI HAの性能はそのままに、コンパクト化をはかりました。
アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。・特殊構造のアクチュエータにより、高圧タイプのエアオペレーションバルブとして、大変コンパクトです。
優れた耐久性40万回以上
高圧ガス大臣認定品の対応が可能です。
高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム
良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 0.92 cc)
シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。・PIもオプション設定しています。
接ガス部はすべて標準でUP処理を行っています。