フジキン 自動ダイヤフラムバルブ

MEGA-ONE LA NHD・低圧タイプ 高耐久エアオペレーションバルブ・MEGA-ONE LA NHD は、各種半導体製造装置・設備などの超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。・長年の経験によって蓄積された技術を使い、より高耐久性、高応答性を図りました。
高耐久バルブ・高耐久性能を実現。・長年の経験によって蓄積された技術を駆使し、製品の高寿命化を実現しました。・3000万回以上。
高Cv値・構造の見直しにより、従来と同サイズで高Cv値化を実現。
安定した品質・バルブ全数につき、リフト調整及びCv値測定検査を実施。
MEGA-ONE・NEW MEGA-ONEと面間を統一(Φ6.35はUJR継手のみ)・既存ラインのグレードアップが可能。
高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム
接ガス部はすべて標準でEP処理されています。・オプションでUP処理も可能です。
シート材質は、標準でPCTFEを採用しています・PA(PFA材)・PI(ポリイミド材)もオプション設定しています。
高温(使用流体温度)にも対応・シート材質をPA・PIにする事で200℃に対応。