・NX-ECA は、EtherCAT 通信のスレーブ局となる製品です? NX-ECA は EtherCAT の半導体製造装置向けのプロファイルである SEMI プロファイル(ETG.5003.2060)をサポートしていますNX-ECA は NX-D25/NX-D35 の 4 チャンネルモデルに対応しています? サイドコネクタ側イーサネットに最大 16 台接続できます。? 最大 64 ループの PID 制御ができます