仕様●サイズ:8インチシリコンウェハ●TEOS(シリコンナイトライド)【PE-CVD】膜厚み:400nm狙い(データ付き)●直径(mm):200.0±0.2●ウェハー厚(μm):725±25●製造方法:CZ法●導電型:P型●面方位:100●抵抗値(Ω・cm):1〜100●Vノッチ●面状態:ミラー/エッチド●パーティクル:ダストフリー●TTV(μm):≦20●数量:25枚(1箱)●※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。●※膜ムラや膜厚みの狙いの商品につきましては、不問とさせて頂きます。
アズワン品番67-6448-18