高速応答低圧損高精度なデジタルマスフローコントローラが正統進化 ひとめで制御状態が分かる大型LEDと液晶表示器を搭載。高流量域から低流量域まで高精度で制御できます。広い範囲で設定流量を変更する用途に適しています。「全閉から制御開始時」「設定値変更時」とも同様に高速応答を実現しています。複数のガス流量を同時に変更する場合もガスの比率を維持できます。低圧ガスも制御できる低差圧構造。
