- 種類
- 傾斜ステージ
- 精度
- 回転中心：Φ0.05
- センサー
- 原点センサ/リミットセンサ：無し
- 分解能
- 0.001332°
- 機構
- 移動：複合カップリング
- 繰返し精度
- ± 0.002°(± 7.2 sec)
- 耐荷重(N)
- 49
- ステージ寸法(mm)
- 70×70
- 移動方向
- 傾斜 1 方向
- 送り方式
- ボールねじ、リード1.0mm
- 移動ガイド
- V 溝とクロスローラ
- 回転中心
- 70mm(ステージ上面より)
- 使用モータ
- SGMAV-A5ADA61(安川電機、サーボモーター)
- 位置決め精度(°)
- 0.03(108 sec)
- ロストモーション(°)
- 0.006
- 移動量
- ± 8°
