種類傾斜ステージ精度回転中心：Φ0.05センサー原点センサ/リミットセンサ：有り分解能0.001332°機構移動：複合カップリング繰返し精度± 0.002°(± 7.2 sec)耐荷重(N)49ステージ寸法(mm)70×70移動方向傾斜 1 方向送り方式ボールねじ、リード1.0mm移動ガイドV 溝とクロスローラ回転中心70mm(ステージ上面より)使用モータSGMAV-A5ADA61(安川電機、サーボモーター)位置決め精度(°)0.03(108 sec)ロストモーション(°)0.006移動量± 8°
