- オプション
- マルチイオンゲージセンサ:SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25)、材質:フィラメント:Ir/Y2O2コート、その他:PtC-Mo、 SUS304、 W、 Kovar glass、 Kovar/Niメッキ
ピラニゲージ:SWU10-R(従来品SPUも対応)
ピラニゲージセンサ:SWP-16(NW16)、 SWP-25(NW25)、 SWP-R1/8(R1/8)、 SWP-P18(Φ18 pipe end)、 SWP-P15(Φ15 pipe end)、 SWP-CF16(ICF034)、材質:フィラメント-Pt、 その他-BS/Ni、 メッキ、 Ni、 半田
大気圧センサ:SAU(NW16) 材質:SUS316L
ユニットケーブル:GUC-200P(SWU用):0.5m、 1m、 2m、GUC-200A(SAU用):0.5m、 1m、 2m
ディスプレイユニット:1CH:ISG1 (DC24V電源使用)
ディスプレイユニットケーブル:SH200~ディスプレイユニット間ケーブル2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m
コネクタ:入出力コネクタ(D-sub15-soket(M2.6mmネジ)) - 端末仕様
- 対応:パソコン:Windows10 64bit 以降
スマートフォン:Android 6以上、USB TypeC - 測定精度(%)
- 1.0×10-4~1.0×10+4Pa:±10
1.0×10+4~1.0×10+5Pa:±20 - 出力信号
- 制御:センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視
定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V - 接続センサー
- 接続可能センサ:マルチイオンゲージセンサ:1本
ピラニゲージSWU10-R:1本(オプション)
- 仕様
- ●適応マルチイオンゲージセンサ:SWT-16(NW16)●エミッション電流:2mA(1×10-2Pa以下)、10μA(1×10-2Pa以上)●DEGAS:エレクトロンボンバード方式、エミッション電流2mA、グリッド電圧約330V
- 測定範囲
- (Pa)1.0×10^-5~1.0×10^5
- 質量(g)
- 約280(コントローラ)、80(測定子)
- 使用温度範囲(℃)
- 10~50
- 外形寸法(mm)
- ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、SWU10-R+測定子/Φ40×81、コントローラ部/69×63×90(W×D×H)
- 出力
- 測定値出力電圧 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁・圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
- 使用温度範囲
- ST200-A(10~50℃)
- 適合規格
- CE
- 電源電圧
- DC20~28V(リップル、ノイズ1%以下)8W以下
- 精度
- (測定)1.0×10^-4~3.0×10+0Pa:±10%(ST200-A単体モード)、1.0×10^-4~1.0×10+4Pa:±10% 1.0×10^4~1.0×10^5Pa:±20%(ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード)、1.0×10^-4~1.0×10^4Pa:±10% 1.0×10^4~3.0×10^5Pa:±3%F.S.(3.0×10^3Pa・基準温度25℃)(ST200-A+SWU10-R+SAUコンビネーションモード)
- 電源電圧(V)
- DC20~28(リップル、ノイズ1%以下)8W以下
- 保護等級
- IP30
- 入力信号
- 制御:FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF オープンコレクタ入力で動作、負論理
- 測定範囲(Pa)
- 1×10-5~1×105
- 表示器
- SWU10-R
- 表示LED
- POWER/ERROR: パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化)
- 測定子
- 電離真空計測:ISG1
- ケーブル
- (ディスプレイ)5m(表示器・本体間ケーブル)
- 外寸法(mm)
- ST200+測定子/69×63×120、ISG1/48×70×96、SWU10-R+測定子/Φ40×81、SAU+測定子/Φ30×67.5
- コネクタ
- 入出力:D-sub15ピン(M2.6ネジ)
- モード
- ST200-A+SWU10-Rコンビネーションモード
- 内容積(cm3)
- 17(センサ)
- 保管温度範囲(℃)
- -20~65(非通電時、結露なきこと)
- アズワン品番
- 3-6054-25
- 表示更新時間
- 60msec
- 繰返し精度(%)
- (N2)ST200単体モード:±2
- 耐圧(Pa)
- センサ:2×105(絶対圧)フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要
- 湿度範囲(%)
- 15~80(ただし、結露なきこと)
- サンプリング周期(ms)
- 60(5回の移動平均処理)